무입자 가스 전달을 위한 Mott 고순도 벌크 및 유틸리티 필터

Mott 고순도 벌크 및 유틸리티 필터는 9μm에서 입자의 0.0015-log 여과를 제공하여 입자가 없는 가스를 생성합니다. 이러한 벌크 필터는 가열 및 건조 작업 중에 정화기의 다운스트림에서 자주 접하게 되는 더 높은 온도에 이상적으로 적합합니다.

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제품 사양

작동 조건

»최대 작동 압력 : 최대 650psig (44.8barg)

»불활성 가스의 최대 작동 온도 : 최대 450 ° C

»최대 차압 : 최대 250 psid (17.2 barg)

소스

»하드웨어 : 316L SS

»필터 매체 : 316L SS Fiber 또는 Penta® Nickel

» 습식 하드웨어 표면 마감: 10 Ra

»맞춤형 재료도 사용 가능

제품 사양
입자 제거 크기 : 0.0015 μm 이상
헬륨 누출 등급 : 1 x 10-9 atm cc / 초
수분 기여 : SEMI F10 테스트 방법에 따라 저 유량 주변 퍼지에서 1 시간 후 27ppb 미만
총 탄화수소 : ASTM F1398 테스트 방법에 따라 감지 가능한 한계 미만
입자 흘리기 : SEMI F1-43 테스트 방법에 따라 배경 위의 입자 기여도 없음 (<0308 입자 / ft³)
흐름 데이터

정격 유량이 170,000 SLPM 인 벌크 필터를 사용할 수 있습니다. 흐름 곡선 정보는 공장 또는 사양 시트를 참조하십시오.

피팅 및 치수

BGF-310 및 BGF-315

부품 설명 피팅 타입 A / mm B / mm C에서 / mm
BGF-310-2TS-N-4M
BGF-310H-2TS-N-13M
2 인치 튜브 스텁 17.95/455.9 3.00/76.2 2.00/50.8
BGF-310-1.5TS-N-4M 1.5 인치 튜브 스텁 24.39/619.5 3.00/76.2 1.50/38.1
BGF-310-1TS-N-4M 1 인치 튜브 스텁 25.17/639.3 3.00/76.2 1.00/25.4
BGF-315-2TS-N-6M 2 인치 튜브 스텁 22.98/583.7 3.00/76.2 2.00/50.8
BGF-315-1.5TS-N-6M 1.5 인치 튜브 스텁 29.42/747.3 3.00/76.2 1.50/38.1
BGF-315H-40A5S-N-15M JIS40A5S 21.26/540.0 3.00/76.2 1.91/48.5

 

BGF-610

부품 설명 피팅 타입 A / mm B / mm C에서 / mm
BGF-610-4TS-N-19M
BGF-610H-4TS-N-30M
4 인치 튜브 스텁 18.40/467.4 6.00/152.4 4.00/101.6
BGF-610-2TS-N-19M 2 인치 튜브 스텁 24.86/631.4 6.00/152.4 2.00/50.8
BGF-610-1.5TS-N-19M 1.5 인치 튜브 스텁 24.86/631.4 6.00/152.4 1.50/38.1
BGF-610-1TS-N-19M 1 인치 튜브 스텁 24.86/631.4 6.00/152.4 1.00/25.4

 

BGF-615

부품 설명 피팅 타입 A / mm B / mm C에서 / mm
BGF-615-6TS-N-28M
BGF-615H-6TS-N-35M
BGF-615HF-6TS-N-60M
6 인치 튜브 스텁 28.81/731.8 6.00/152.4 6.00/152.4
BGF-615-4TS-N-28M
BGF-615H-4TS-N-35M
BGF-615HF-4TS-N-60M
4 인치 튜브 스텁 23.41/594.6 6.00/152.4 4.00/101.6
BGF-615-2TS-N-28M
BGF-615H-2TS-N-35M
BGF-615HF-2TS-N-60M
2 인치 튜브 스텁 29.89/759.2 6.00/152.4 2.00/50.8

 

BGF-815

부품 설명 피팅 타입 A / mm B / mm C에서 / mm
BGF-815HF-6TS-N-170M 6 인치 튜브 스텁 22.81/579.3 8.63/219.0 6.00/152.4

 

BGF12P23

부품 설명 피팅 타입 A / mm B / mm C에서 / mm
BGF12P23-150A5S-F-175M JIS150A5S 39.40/1000.6 12.75/323.9 6.50/165.1

* 사용자 정의 디자인 및 피팅 가능.

우리의 디자인 기능

  • 거의 모든 시스템 설계를위한 유량 / 압력 강하 곡선 및 여과 효율
  • 가스 호환성 고려 사항
  • 맞춤형 필터 매체, 압력 용기 및 피팅 재료 및 구성 가능

 

관련 서비스

디자인 전문 지식 - 처음부터 끝까지 우리는 귀하의 설계 매개변수를 기반으로 벌크 필터 솔루션을 맞춤화합니다. 우리에게 도전하세요!

품질 인증 - CE와 같은 건강, 안전 및 환경 표준을 준수하기 위한 표시가 필요합니까? 우리가 도와드리겠습니다.

광범위한 파트너 네트워크 – 대량 필터 재료가 목록에 없거나 자체 기능이 없는 경우 재료 조달, 고급 제조 및 검증 테스트를 위한 광범위한 파트너 네트워크가 있습니다.

엔지니어링 지원 – 당사의 프로젝트 엔지니어가 귀하의 공정에 대해 상담하고 귀하의 응용 분야에 이상적인 벌크 및 유틸리티 필터를 선택할 수 있도록 도와드립니다.

FAQ: 대량 가스 필터 및 여과

Q: 초고순도 응용 분야에서 벌크 필터란 무엇입니까?

A: 벌크 필터는 대량의 가스를 처리하도록 설계된 특수 여과 장치로, 특히 반도체 제조와 같은 초고순도 응용 분야에서 오염 물질과 불순물을 제거합니다.

Q: Mott의 벌크 필터는 어떻게 9-로그 필터링을 보장합니까?

A: Mott의 벌크 필터는 고급 다공성 금속 기술로 설계되어 9-로그 여과를 달성할 수 있습니다. Mott 필터는 시장에서 최고 품질과 최고 정밀도의 다공성으로 제조됩니다. 이를 통해 통과하는 가스의 순도가 가장 높고 입자와 오염 물질이 없음을 보장합니다.

Q: Mott의 벌크 필터는 다양한 반도체 공정 가스와 호환됩니까?

A: 예, Mott의 벌크 필터는 모든 고순도 반도체 공정 가스와 호환되도록 설계되어 다양한 까다로운 응용 분야에서 다양성과 신뢰성을 보장합니다. Mott 필터는 7nm 미만의 고급 노드 기술을 포함하여 가장 까다로운 칩 제조 공정에 사용됩니다.

Q: Mott의 벌크 필터는 어떻게 더 빠른 "건조" 시간에 기여합니까?

A: Mott의 벌크 필터는 빠른 "건조"가 가능한 재료와 디자인으로 제작되었습니다. 즉, 몇 시간이 아닌 몇 분 만에 최적의 성능을 달성하여 가동 중지 시간을 줄이고 효율성을 높입니다.

Q: Mott의 벌크 필터는 부식성 가스를 처리할 수 있습니까?

답: 물론이죠. Mott의 벌크 필터는 스테인레스 스틸, Hastelloy® 및 Penta® 니켈을 포함한 다양한 재료로 제공되므로 부식성 가스를 포함한 다양한 가스를 처리하는 데 적합합니다.