GasShield® 표면 실장 필터

Mott GasShield® 표면 장착 필터는 반도체 OEM 도구에 사용되는 통합 가스 시스템에서 최고의 0.0015μm 여과 기능을 제공합니다. 이것들 GasShield® 표면 실장 필터는 1.125인치 및 1.5인치 XNUMX개 패스너, 표면 실장 가스 분배 시스템에 완벽하게 맞도록 설계되었으며 C-씰 및 W-씰 구성을 모두 갖추고 있습니다. 이 제품은 광범위한 불활성 가스는 물론 대부분의 특수 가스와도 호환됩니다.

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문헌 및 데이터 시트

전형적인 신청

W- 씰 및 C- 씰과 함께 사용, 1.125”및 1.5”표면 실장 모듈 형 가스 전달 시스템.

Mott Semiconductor 제품 카탈로그

반도체 제조업체 전용으로 설계된 Mott의 광범위한 고순도 필터, 디퓨저 및 유량 제한기를 살펴보십시오.

제품 사양

작동 조건

»최대 작동 압력 : 1800 psig (124.1 barg)

»불활성 가스의 최대 작동 온도 : 460 ° C

»최대 차압 : 500 psid (34.4 bar)

소스

» 하드웨어: 316LSS 또는 Alloy 22*

» 필터 매체: Penta® 니켈, 316L SS 또는 Alloy 22*

» 습식 하드웨어 표면 마감: 5 Ra

»맞춤형 재료도 사용 가능

*Alloy 22 또는 UNS N06022는 일반적으로 Hastelloy® C-22®라고 하는 니켈-크롬-몰리브덴 초합금입니다.

제품 사양
입자 제거 크기 : 0.0015 μm 이상
헬륨 누출 등급 : 1 x 10-9 atm cc / 초
수분 기여 : SEMI F10 테스트 방법에 따라 저 유량 주변 퍼지에서 1 시간 후 27ppb 미만
총 탄화수소 : SEMASPEC 90120396B 테스트 방법에 따라 감지 가능한 한계 미만
입자 흘리기 : SEMI F1-43 테스트 방법에 따라 배경 위의 입자 기여도 없음 (<0308 입자 / ft³)
흐름 데이터

더 많은 유량 곡선이 가능합니다. 공장 또는 사양서를 참조하십시오.

피팅 및 치수

75 인치 GSMM-1.125 C- 씰

부품 설명 피팅 타입 필터 재질 주택 자재 필터 설계 유량 등급 (SLPM) 전체 높이 (인치)
GSMM-75-020-12
GSMM-75-030-12
GSMM-75-050-12
C 인감 니켈 316L SS 1.125 " 20-50 1.6-4.0
GSMM-75-010-11
GSMM-75-030-11
C 인감 316L SS 316L SS 1.125 " 10-30 2.4-4.0
GSMM-75-010-33
GSMM-75-030-33
C 인감 합금 22* 합금 22* 1.125 " 10-30 2.4-4.9

 

60 인치 GSMM-1.500 C- 씰

부품 설명 피팅 타입 필터 재질 주택 자재 필터 설계 유량 등급 (SLPM) 전체 높이 (인치)
GSMM-60-010-12
GSMM-60-050-12
GSMM-60-100-12
C 인감 니켈 316L SS 1.500 " 10-100 1.3-4.5
GSMM-60-010-11
GSMM-60-020-11
GSMM-60-075-11
C 인감 316L SS 316L SS 1.500 " 10-75 2.2-5.8
GSMM-60-010-33
GSMM-60-020-33
GSMM-60-075-33
C 인감 합금 22* 합금 22* 1.500 " 10-75 2.4-6.1

 

55 인치 GSMM-1.125 W- 씰

부품 설명 피팅 타입 필터 재질 주택 자재 필터 설계 유량 등급 (SLPM) 전체 높이 (인치)
GSMM-55-020-12
GSMM-55-030-12
GSMM-55-050-12
W 인감 니켈 316L SS 1.125 " 20-50 1.7-4.2
GSMM-55-010-11
GSMM-55-030-11
GSMM-55-050-11
C 인감 316L SS 316L SS 1.125 " 10-50 2.6-4.0
GSMM-60-010-33
GSMM-60-020-33
GSMM-60-075-33
C 인감 합금 22* 합금 22* 1.125 " 10-30 2.5-5.0

 

50 인치 GSMM-1.500 W- 씰

부품 설명 피팅 타입 필터 재질 주택 자재 필터 설계 유량 등급 (SLPM) 전체 높이 (인치)
GSMM-50-010-12
GSMM-50-050-12
GSMM-50-100-12
W 인감 니켈 316L SS 1.500 " 10-100 1.3-4.5
GSMM-50-010-11
GSMM-50-020-11
GSMM-50-030-11
GSMM-50-075-11
W 인감 316L SS 316L SS 1.500 " 10-75 2.2-5.8
GSMM-50-010-33
GSMM-50-020-33
GSMM-50-075-33
C 인감 합금 22* 합금 22* 1.500 " 10-75 2.2-6.1

* 사용자 정의 디자인 및 피팅 가능.

우리의 디자인 기능

  • 반도체 OEM 도구용 표면 실장 필터가 필요한 시스템을 포함하여 거의 모든 시스템 설계에 대한 흐름/압력 강하 곡선 및 여과 효율성.
  • 가스 호환성 고려 사항
  • 맞춤형 필터 매체, 압력 용기 및 피팅 재료 및 구성 가능

관련 서비스

디자인 전문 지식 – 처음부터 끝까지 우리는 반도체 OEM 도구용 표면 실장 필터가 필요한지 또는 기타 특수 애플리케이션이 필요한지 여부에 관계없이 설계 매개변수를 기반으로 솔루션을 맞춤화합니다. 우리에게 도전하십시오!

유체 모델링 – 당사의 광범위한 애플리케이션은 흐름 모델의 정확성을 높이기 위해 데이터 라이브러리를 구축하여 표면 실장 필터 및 기타 구성 요소의 최적 성능을 보장합니다. 프로토타입을 제작하기 전에 초기 성능 및 타당성 추정치를 제공합니다.

광범위한 파트너 네트워크 – 재료가 목록에 없거나 사내 역량이 없는 경우, 당사는 표면 실장 필터 개발을 지원하기 위해 새로운 재료 조달, 고급 제조 역량 및 검증 테스트를 위한 광범위한 파트너 네트워크를 유지합니다.

엔지니어링 지원 – 당사의 전문 엔지니어를 활용하여 특정 용도에 맞는 올바른 표면 장착 필터를 설계하여 가능한 최고의 여과 성능을 보장합니다.

표면 실장 필터: 반도체 제조 향상

표면 실장 필터는 반도체 OEM 도구 내의 통합 가스 시스템에 사용되는 특수 여과 부품입니다. 이는 반도체 제조 공정에 사용되는 가스의 순도와 신뢰성을 보장하는 데 중요한 역할을 합니다. 이러한 필터는 가스 분배 시스템 내에 전략적으로 배치되어 0.0015μm만큼 작은 오염 물질과 입자상 물질을 효율적으로 제거하여 가스가 엄격한 품질 표준을 충족하도록 보장합니다. 표면 실장 필터는 민감한 반도체 장비를 보호하고, 오염으로 인한 결함을 방지하며, 일관된 성능을 보장하는 데 필수적입니다.

Mott는 여과 우수성에 대한 헌신으로 인해 최고의 표면 실장 필터를 제공하는 선두 주자입니다. Mott의 필터는 최대의 여과 효율성, 업계 최고의 흐름 일관성 및 탁월한 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 특정 설계 매개변수를 기반으로 표면 실장 필터를 맞춤화하는 전문 지식을 바탕으로 각 솔루션이 다양한 반도체 응용 분야의 고유한 요구 사항을 충족하도록 맞춤화되었습니다. 또한 Mott의 광범위한 파트너 네트워크 및 엔지니어링 지원을 통해 고객은 최적의 성능을 발휘하는 고품질 표면 실장 필터를 확보하여 반도체 제조 공정의 전반적인 성공에 기여할 수 있습니다.

FAQ: 표면 실장 필터

Q: 표면실장필터란 무엇이며, 반도체 산업에서 주로 어디에 사용되나요?

A: 표면 실장 필터는 반도체 제조 장비 내 가스 분배 시스템에 초미세 여과 기능을 제공하기 위해 반도체 산업에서 사용되는 특수 여과 부품입니다. 일반적으로 다양한 반도체 제조 공정에 사용되는 가스의 순도와 청정도를 보장하기 위해 가스 시스템에 사용되며, 가스 패널에서 공간을 덜 차지한다는 장점이 있습니다.

Q: Mott의 GasShield® 표면 장착 필터는 가스에서 어떤 크기의 입자를 제거합니까?

A: Mott의 GasShield® 표면 장착 필터는 업계 최고의 여과 효율성을 제공하여 가스에서 0.0015μm만큼 작은 입자를 제거하여 입자 제어가 필수적인 중요한 반도체 응용 분야에 이상적입니다.

Q: Mott의 표면 실장 필터는 반도체 제조에 사용되는 모든 유형의 가스와 호환됩니까?

A: 예, Mott의 GasShield® 표면 장착 필터는 불활성 가스 및 반도체 제조 공정에서 일반적으로 사용되는 대부분의 특수 가스를 포함하여 광범위한 가스와 호환됩니다.

Q: Mott는 특정 반도체 제조 응용 분야에 맞게 표면 실장 필터를 맞춤화하는 데 어떻게 도움을 줄 수 있습니까?

A: Mott는 특정 설계 매개변수를 기반으로 표면 실장 필터를 맞춤화할 수 있는 설계 전문 지식과 엔지니어링 지원을 제공하여 각 솔루션이 다양한 반도체 제조 응용 분야의 고유한 요구 사항을 충족하도록 맞춤화되도록 합니다.