더 긴 툴 가동 시간과 더 나은 공장 처리량을 달성하기 위해 Mott와 협력
공장 가동률을 높이려면 공구 가동 시간 및 공구 처리량을 향상시키는 것이 중요합니다. 신중한 공구 작동, 적절한 유지 보수 및 호환 가능한 시스템 구성 요소가 없으면 공구가 최대 60 %의 유휴 상태에있게됩니다. 대부분의 시간은 예정된 유지 보수 또는 예기치 않은 다운 타임으로 인한 것입니다.
Mott Point of Use 섬유 금속 가스 필터는 팹이 몇 시간이 아닌 몇 분 만에 드라이 다운을 통해 도구 가동 시간을 개선하는 데 도움이되는 것으로 입증되어 도구를 시작하는 동안 또는 유지 보수 종료 후에 도구를 더 빠르게 시운전 할 수 있습니다. 또한 섬유 금속 매체는 업계 1.5nm 표준의 2 배인 3nm 입자 캡처를 제공합니다. Mott Diffusers는 진공 상태에서 대기 상태로 배출하는 동안 챔버의 입자 방해를 제거하여 공구 웨이퍼 처리량을 10-20 %까지 증가시키는 것으로 입증되었습니다. 지속적인 벤트 업 사이클은 경쟁 디퓨저를 조기 실패 지점까지 압박하는 것으로 알려져 있습니다. Mott의 디퓨저는 3 백만 번의 환기주기를 견디는 테스트를 거쳤으며 값 비싼 재료 고장을 제거하고 유지 관리 요구 사항을 줄였습니다.
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모트 사용 가스 섬유 금속 필터
OEM 툴 가스 박스, 반도체 툴 훅 업용 UHP 가스 스틱, 밸브 매니 폴드 박스의 UHP 프로세스 가스 여과, 가스 캐비닛, 툴 격리 가스 박스 또는 초 고순도 입자 제거가 필요한 모든 공정에 사용.
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1.5 nm 입자 캡처
Mott는 미네소타 대학의 입자 기술 연구소와 새로운 테스트를 공동 개발하여 테스트 입자를 만들고 1.5nm (0.0015µm) 입자까지 필터 효율을 측정 할 수 있습니다. 이것은 현재 업계 표준 인 2nm보다 3 배 더 작은 입자 보유력입니다. Mott의 독자적인 제조 기술 개발은 필터 압력 강하에 기여하지 않고 이러한 효율성을 충족시키는 금속 필터 매체를 만들었습니다. |
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모트 디퓨저
로드 록 챔버, 이송 챔버, 냉각 챔버 및 프로세스 챔버 또는 반도체 장비 인터페이스 (CVD, PVD, Etch, Epi) 또는 기타 진공 챔버에서 벤트 어플리케이션에 가스가있는 모트 디퓨저를 사용하십시오.
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