Mott 's Penta® 니켈 다공성 금속 필터로 벌크 산소 가스 시스템의 안전성을 향상시키는 반도체 웨이퍼 팹

아무도이 장면을보고 싶어하지는 않습니다.

어떻게 된 거예요?

고압 산소 시스템은 테프론과 같이 높은 점화 에너지를 견딜 수없는 재료가 시스템에 사용될 때 단열 압축 점화에 취약합니다. 보시다시피 결과는 치명적일 수 있습니다.

압축 가스 협회 (CGA)에 따르면 산소 파이프 라인 및 배관 시스템 : 필터 요소는 입자 유지 기능으로 인해 위험이 높은 것으로 간주되는 충돌 위치입니다. 요소는 또한 사용 된 재료에 따라 쉽게 발화 될 수있는 "높은 표면적 대 부피"구성 요소입니다. 따라서 요소 재료 선택에는 추가적인주의가 필요합니다. 시스템은 역류에서 필터 또는 스트레이너 작동 가능성을 방지하도록 설계되어야합니다. 일반적인 필터 요소 재료에는 소결 니켈이 포함되지만 반드시 이에 국한되지는 않습니다.

단열 압축 점화 란 무엇입니까?

단열 압축은 "GAS HAMMER"효과 또는 Metal Fire라고도합니다.

순도 99.5 %의 고압 산소 시스템에서 밸브가 빠르게 열리면 산소가 고압 튜빙으로 흘러 들어가고 다음 밸브 또는 조절기에서 튜빙의 끝에 도달하면 단열 압축이 발생할 수 있습니다. 거기에서, 압력은 산소 공급원의 충전 압력보다 간단히 훨씬 높을 것이다.

압축이 외부에서 열 입력없이 일어나기 때문에 단열 적입니다. 그러나 그 결과 압축 열이 국부적으로 발생하여 정상 압력보다 높은 것을 볼 수 있습니다. 과 온도가 상승하여 재료가 산소와 접촉하는 것이 훨씬 중요합니다. 일반적으로 불연성 물질은 고온에서 고압 산소와 접촉 할 때 가연성이됩니다.

산소 발화 방지, 성능 개선 및 소유 비용 절감

소결 니켈 분말은 산소 점화에 대한 최상의 보호 기능을 제공합니다.

• 니켈은 더 높은 점화 온도 플라스틱, 테플론 또는 316 스테인리스 스틸보다
• 니켈 필터 요소의 높은 표면적 잠재적 인 불꽃을 끄는 방열판 역할을합니다

니켈의 추가 이점은 다음과 같습니다.

• 니켈은 소수성 자질 2 시간 건조 며칠이 아닌
• 테프론보다 오래 지속되는 높은 무결성 재료를 위해 비용은 더 높은 유량에서 테플론과 비교할 수 있으므로 안전을 최대화하면서 소유 비용을 최소화

참고 : 테플론 필터 앞에서 니켈 스크린을 사용하려는 시도는 스크린이 단열 압력 형성의 고온을 낮추는 데 도움이되지 않기 때문에 완전히 부적절하고 잠재적으로 위험합니다.

모트 솔루션

가스 쉴드^® 사용 시점 펜타^® 니켈 벌크 필터

• 소수성, 건조 시간 10 ppb H₂몇 분이 아닌 몇 분만에 O
• 1.5 nm 여과 (산업 표준은 3 nm 임)
• 15 년 이상 팹에서 입증
• 펜타 니켈 미디어
• 더 낮은 dp
• 1500 SLPM에서 60,000 SLPM의 유량으로 사용 가능
• 높은 유속에서 테프론과 비슷한 비용