GasShield® HiFlow™ 夹层过滤器
适用于 ALD 和先进材料工艺的超紧凑、高纯度过滤
GasShield® HiFlow™ 夹层过滤器是首款专为尖端半导体制造工艺中超高纯度 (UHP) 气体输送而设计的现场金属纤维过滤器。其紧凑且正在申请专利的设计能够满足原子层沉积 (ALD) 和超摩尔 (More-than-Moore) 架构的极高要求，在不影响颗粒物截留率和可靠性的情况下，提供突破性的流量性能。
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为什么要改用 GasShield® HiFlow™ 夹层过滤器？
- 压降与吞吐量： 传统过滤器会限制流量 - Mott 的设计可将压降降低 25%，从而在不牺牲性能的情况下提高吞吐量。
- 粒子捕获与放置： 大多数过滤器都会漏掉重要的颗粒 — — Mott 可在腔室内提供 >9 LRV 保留，直至 1.5nm，从而最大限度地减少缺陷。
- 性能与占用空间： 高性能过滤器通常体积过大——Mott 的紧凑型三明治式设计可轻松放入狭小空间。
GasShield® HiFlow™ 夹层过滤器切片 | Mott Corporation
下载 Mott 的 GasShield® HiFlow™ 夹层过滤器的说明书——紧凑的设计，1.5nm 处 >9 LRV，以及用于 ALD 和 UHP 气体输送的低压降。
高纯度表面贴装限流器
Mott GSMR系列限流器支持1.125英寸高流量C型密封配置气体系统。
产品规格
| 与其他过滤器的比较 |
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| 产品特色 |
>9 LRV 过滤效率 超紧凑设计 更低的压降 全金属结构 卓越的热稳定性 |
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| 应用 |
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| 性能规格 |
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| 订购信息 |
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| 准备好在您的工具中测试它了吗？ |
常见问题
问：GasShield® HiFlow™ 夹层过滤器与其他 UHP 过滤器有何不同？
这是业界首款采用紧凑夹层设计的终端金属纤维过滤器。它具有低压降、零介质迁移和无与伦比的过滤效率，并针对原子层沉积 (ALD) 和超摩尔器件节点等高要求工艺进行了优化。
问：它能保留多大的颗粒尺寸？
GasShield® HiFlow™ 夹层过滤器可截留颗粒物至 0.0015 微米（1.5 纳米）.
它采用 Mott 专有的全金属多孔介质，可在不牺牲流速的情况下实现出色的亚微米颗粒捕获 - 非常适合 ALD 和先进半导体工艺所需的精度。
问：它与腐蚀性或活性气体兼容吗？
是的。该过滤器采用全金属结构（316L 不锈钢或镍材质可选），确保与各种超高纯度工艺气体兼容，包括先进半导体制造中使用的活性气体和腐蚀性气体。
问：压力等级和温度耐受性是多少？
GasShield® HiFlow™ 夹层过滤器专为高性能应用而设计，具有以下规格：
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最大工作压力：
750 psig（51.7巴） -
惰性气体最高工作温度： 460°
- 最大压差： 1000 psid（68.9 巴）
即使在苛刻的条件下，这些额定值也能确保过滤器在超高纯度气体输送系统中的可靠性和效率。
问：我如何知道我需要什么尺寸或配置的过滤器？
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