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GasShield® 使用点过滤器

为了获得最大的气体过滤效率、可靠性和行业领先的流量一致性,GasShield® 使用点过滤器是超高纯度 (UHP) 气体输送应用的理想选择。 使用点过滤器有多种材料可供选择,并且与大多数高纯度电子级工艺气体兼容。

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产品规格

工作条件

»最大工作压力:最高3750 psig(258 barg)

»惰性气体的最高工作温度:460°C

»最大压差:1000 psid(68.9 bar)

包含教材(讲解历年真题)

»硬件:不锈钢,不锈钢VAR或Hastelloy®C-22

»过滤介质:不锈钢,镍,Hastelloy®C-22或不锈钢纤维

» 润湿五金件表面处理:不锈钢五金件为 5 Ra 电抛光,Hastelloy® 五金件为 5 Ra

» 自定义选项也可用

产品参数
颗粒去除尺寸: ≥0.0015微米
过滤效率 (对数减少值): 9 LRV(减少了99.9999999%的颗粒)。

根据SEMI F0.08-38测试方法确认为最穿透的颗粒大小为0699μm

氦气泄漏等级: 1 x 10-9 atm cc /秒
水分贡献: 根据SEMI F10测试方法,在低流量环境吹扫下1小时后<27 ppb
总碳氢化合物: 低于SEMASPEC 90120396B测试方法的可检测极限
颗粒脱落: 根据SEMI F1-43测试方法,零颗粒贡献超过背景(<0308颗粒/ft³)
配件和尺寸
POU-03

部分说明 配件类型 英寸/毫米 B in /毫米 英寸/毫米
POU-3-SV1

POU-3-HV1

POU-3-HSV1

POU-3-NSV1

¼in。公/公面密封 3.31/84.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-3-SV3

POU-3-HV3

POU-3-HSV3

½in。公/公端面密封 3.31/84.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-05

部分说明 配件类型 英寸/毫米 B in /毫米 英寸/毫米
POU-05-SV1

POU-05-HV1

POU-05-NSV1

¼in。公/公面密封 3.31/84.0 0.75/19.0 0.812/20.6
POU-05-ST1

POU-05-NST1

¼英寸对接焊管短管 3.31/84.0 0.75/19.0 N / A
POU-05-FSV1 ¼in。公/公面密封 3.31/84.0 0.75/19.0 0.625/15.9
POU-10

部分说明 配件类型 英寸/毫米 B in /毫米 英寸/毫米
POU-10-SV1

POU-10-HV1

POU-10-HSV1

¼in。公/公面密封 5.00/127.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-10-SV3

POU-10-HV3

POU-10-HSV3

½in。公/公端面密封 5.00/127.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-10-ST1 ¼英寸对接焊管短管 5.00/127.0 1.50/38.1 N / A
POU-10-ST3 ½英寸对接焊管短管 5.00/127.0 1.50/38.1 N / A
POU-30

部分说明 配件类型 英寸/毫米 B in /毫米 英寸/毫米
POU-30-SV3 ½in。公/公端面密封 11.22/285.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POU-30-ST3 ½英寸对接焊管短管 11.22/285.0 1.50/38.1 N / A
POU-015

部分说明 配件类型 英寸/毫米 B in /毫米 英寸/毫米
POU-015-SV1 ¼in。公/公面密封 5.00/127.0 0.75/19.0 0.812/20.6
POU-015-ST1 ¼英寸对接焊管短管 5.00/127.0 0.75/19.0 N / A
POU-015-SV3 ½in。公/公端面密封 5.00/127.0 0.75/19.0 0.875/22.2

*可提供定制设计和配件。

流量曲线

有关过滤器流量曲线,请咨询切割表或工厂。

我们的设计能力

  • 几乎任何系统设计的流量/压降曲线和过滤效率
  • 气体相容性考量
  • 提供定制过滤介质,压力容器以及配件材料和配置

相关服务

设计专长 - 从开始到结束, 我们定制解决方案 根据您的设计参数–挑战我们!

流体建模 –我们广泛的应用程序已建立了一个数据库,以提高流程模型的准确性,从而在构建原型之前提供初始性能和可行性评估。

广泛的合作伙伴网络– 如果没有列出材料或内部没有能力,我们将维持广泛的合作伙伴网络,以进行新材料采购,先进的制造能力和验证测试。

工程支持– 利用我们的专家工程师为您的应用设计或选择正确的使用点过滤器。