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GasShield®室内扩散器

Mott GasShield室扩散器可提供均匀且层流的气体,而不会干扰室中的颗粒。 这些扩散器还可从进入的气体中清除大于0.0015μm的颗粒,从而最大程度地减少晶圆上的缺陷。 它们可以承受更高的工作压力,并可以在6,000,000万次以上的周期内保持产品完整性。

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产品规格

工作条件

»最大工作压力:60 psig(4.2 barg)

»惰性气体的最高工作温度

860°F(460°C),无O形圈

带O型圈的212°F(100°C)

»最大压差:75 psid(5.0 bar)

安装信息

请参阅《 HP Diffuser安装指南》

https://mottcorp.com/resource/gasshield-diffuser-handling-installation-instructions/

注意:对于VCR®配件,请始终用手拧紧螺母,然后通过扳手(与VCR兼容的扳手)用手拧紧1/8圈,以确保正确安装。

包含教材(讲解历年真题)

»硬件:316L SS或Hastelloy®C-22

»过滤介质:316L SS纤维或Hastelloy®C-22

»润湿的硬件表面处理:10 Ra,电抛光

产品参数
颗粒去除尺寸 ≥0.0015微米
颗粒脱落: 根据SEMI F1-43测试方法,零颗粒贡献超过背景(<0308颗粒/ft³)
一生: 在最大工作压力下为5年或3,000,000次循环(请参阅保修)
流数据

可用流量曲线。 有关更多信息,请查阅规格表和工厂。

 

 

连接和尺寸
ISO NW50插座连接

 

部分说明 配件类型 入口连接 出口连接 O形圈材料 O型圈尺寸 O型圈槽ID(In / mm) O型圈槽外径(In / mm) O型圈凹槽深度(英寸/毫米)
GSE-FLG-2.0-F1-NW50-316L

 

GSE-FLG-2.0-F1-NW50-C22

¼”公头

面部密封

¼”可旋转公头录像机 ISO NW50 维通 2-229 2.36/59.9 2.67/67.9 0.102/2.6
IS NW40插座连接

部分说明 配件类型 入口连接 出口连接 O形圈材料 O型圈尺寸 O型圈槽ID(In / mm) O型圈槽外径(In / mm) O型圈凹槽深度(英寸/毫米)
GSE-FLG-1.4-F1-NW40-316L ¼”公头

面部密封

¼”可旋转公头录像机 是 NW40 维通 2-224 1.73/44 2.05/52.1 0.102/2.6
IS NW100(螺栓连接)插座连接

部分说明 配件类型 入口连接 出口连接 O形圈材料 O型圈尺寸 O型圈槽ID(In / mm) O型圈槽外径(In / mm) O型圈凹槽深度(英寸/毫米)
GSD-FLG-3.6-F1-NW100-0.5-316L ¼”公头

面部密封

¼”录像机 ISO NW100 维通 2-246 4.50/114.3 5.12/130.0 0.102/2.6
ISO NW40插座连接

部分说明 配件类型 入口连接 出口连接 O形圈材料 O型圈尺寸 O型圈槽ID(In / mm) O型圈槽外径(In / mm) O型圈凹槽深度(英寸/毫米)
GSE-FLG-0.6-2.5-F1-NW40 ¼”公头

面部密封

¼” VCR公头 ISO NW25 维通 2-224 1.73/44 2.05/52.1 0.102/2.6
ISO NW25插座连接

部分说明 配件类型 入口连接 出口连接 O形圈材料 O型圈尺寸 O型圈槽ID(In / mm) O型圈槽外径(In / mm) O型圈凹槽深度(英寸/毫米)
GSE-FLG-0.6-2.5-F1-NW25 ¼”公头

面部密封

¼” VCR公头 ISO NW25 维通 2-123 1.14/28.9 1.38/35.1 0.075/1.9

*可提供定制设计和配件。

我们的设计能力

  • 几乎任何系统设计的流量/压降曲线和过滤效率
  • 气体相容性考量
  • 提供定制过滤介质,压力容器以及配件材料和配置

相关服务

设计专长 –从头到尾,我们根据您的设计参数定制解决方案–挑战我们!

流体建模 –我们广泛的应用程序已建立了一个数据库,以提高流程模型的准确性,从而在构建原型之前提供初始性能和可行性评估。

广泛的合作伙伴网络– 如果没有列出材料或内部没有能力,我们将维持广泛的合作伙伴网络,以进行新材料采购,先进的制造能力和验证测试。

工程支持– 利用我们的专家工程师来咨询您的工艺,并为您的应用设计合适的腔室扩散器。