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GasShield®室内扩散器

莫特扩散器可提供均匀而层流的气流,而不会干扰室内的颗粒。 这些扩散器还可从进入的气体中清除大于0.0015μm的颗粒,从而最大程度地减少晶圆上的缺陷。 它们可以承受更高的工作压力,并可以保持超过3,000,000个周期的产品完整性。

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文献和数据表

典型应用

排放以下应用程序:

»负载锁定室

»转运室

»冷却室,以及

»处理室

半导体设备接口(CVD,PVD,蚀刻,Epi)或其他真空室的数量

 

产品资料

  • GasShield®扩散器系列数据表

产品规格

工作条件

»最大工作压力:60 psig(4.2 barg)

»惰性气体的最高工作温度

860°F(460°C),无O形圈

带O型圈的212°F(100°C)

»最大压差:75 psid(5.0 bar)

包含教材(讲解历年真题)

»硬件:316L SS或Hastelloy®C-22

»过滤介质:316L SS纤维或Hastelloy®C-22

»润湿的硬件表面处理:10 Ra,电抛光

产品参数
颗粒去除尺寸 ≥0.0015微米
颗粒脱落: 根据SEMI F1-43测试方法,零颗粒贡献超过背景(<0308颗粒/ft³)
一生: 在最大工作压力下为5年或3,000,000次循环(请参阅保修)
流数据

连接和尺寸
ISO NW50插座连接

 

部分说明 配件类型 入口连接 出口连接 O形圈材料 O型圈尺寸 O型圈槽ID(In / mm) O型圈槽外径(In / mm) O型圈凹槽深度(英寸/毫米)
GSE-FLG-2.0-F1-NW50-316L

 

GSE-FLG-2.0-F1-NW50-C22

¼”公头

面部密封

¼”可旋转公头录像机 ISO NW50 维通 2-229 2.36/59.9 2.67/67.9 0.102/2.6
IS NW40插座连接

部分说明 配件类型 入口连接 出口连接 O形圈材料 O型圈尺寸 O型圈槽ID(In / mm) O型圈槽外径(In / mm) O型圈凹槽深度(英寸/毫米)
GSE-FLG-1.4-F1-NW40-316L ¼”公头

面部密封

¼”可旋转公头录像机 是 NW40 维通 2-224 1.73/44 2.05/52.1 0.102/2.6
IS NW100(螺栓连接)插座连接

部分说明 配件类型 入口连接 出口连接 O形圈材料 O型圈尺寸 O型圈槽ID(In / mm) O型圈槽外径(In / mm) O型圈凹槽深度(英寸/毫米)
GSD-FLG-3.6-F1-NW100-0.5-316L ¼”公头

面部密封

¼”录像机 ISO NW100 维通 2-246 4.50/114.3 5.12/130.0 0.102/2.6
ISO NW40插座连接

部分说明 配件类型 入口连接 出口连接 O形圈材料 O型圈尺寸 O型圈槽ID(In / mm) O型圈槽外径(In / mm) O型圈凹槽深度(英寸/毫米)
GSE-FLG-0.6-2.5-F1-NW40 ¼”公头

面部密封

¼” VCR公头 ISO NW25 维通 2-224 1.73/44 2.05/52.1 0.102/2.6
ISO NW25插座连接

部分说明 配件类型 入口连接 出口连接 O形圈材料 O型圈尺寸 O型圈槽ID(In / mm) O型圈槽外径(In / mm) O型圈凹槽深度(英寸/毫米)
GSE-FLG-0.6-2.5-F1-NW25 ¼”公头

面部密封

¼” VCR公头 ISO NW25 维通 2-123 1.14/28.9 1.38/35.1 0.075/1.9

*可提供定制设计和配件。

我们的设计能力

  • 316L SS,Hastelloy®C-22或镍介质
  • 316L SS或Hastelloy®C-22硬件
  • 提供自定义配置

相关服务

工程支持– 利用我们的专业项目工程师来咨询您的过程,并设计正确的过滤器元件,以最大程度地捕获流量和颗粒。