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高纯度限流器

Mott GSMR 系列限流器支持 1.125 英寸高流量 C-Seal 配置气体系统。 这些限流器在 100 级洁净室环境中组装和测试,并安装在基板和另一个双端口表面贴装组件之间。

MottVCR®配件气体流量限制器提供紧凑,持久的流量控制,可承受450°C的持续温度(惰性气体)和120 psig的压力。 根据要求,莫特可以提供可承受最高1500 psig压力的限流器。

可根据要求提供定制材料,孔隙率和硬件配置。

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文献和数据表

典型应用

半导体产品目录

半导体行业产品概述。

高纯气体流量限制器

校准的气体流量限制器,316L不锈钢,Hastelloy®或镍介质,1/4“或1/2”端面密封接头,可提供定制设计

表面贴装限流器

表面安装限流器产品概述。

产品规格

工作条件

表面贴装限流器

»惰性气体的最高工作温度:460°C

»最大工作压力:1,200 psig

»最大压差:1,200 psid

»爆破压力:20,000 psig

»标准下游流量:从50 slpm起(可提供更高流量)

»流量公差:在额定压力下为额定流量的+/- 7%(可根据要求提供+/- 2%)

VCR限制器

»惰性气体的最高工作温度:460°C

»最大工作压力:1,500 psig

»最大压差:1,500 psid

»爆破压力:7,000 psig

»标准下游流量:从50 slpm起(可提供更高流量)

»流量公差:在额定压力下为额定流量的+/- 7%(可根据要求提供+/- 2%)

包含教材(讲解历年真题)

»外壳:316LSS

»过滤介质:316L SS

»润湿的硬件表面处理:10 Ra,电抛光

模块化安装限流器的配件和尺寸
部分说明 密封类型 限流器尺寸

(平方英寸)

设计类型 可用端口数 可用的端口位置
GSMR-20 C型密封 1.125 线轴片 2-3

Center

GSMR-30 C型密封 1.500 线轴片 2-3

Center

VCR®限流器的配件和尺寸
产品系列 适合尺寸 外壳材质 多孔媒体 内表面光洁度 长度
5140 1/4″VCR® 不锈钢 316L SS 10镭 1.55英寸/39.4毫米

我们的设计能力

为了设计您的表面安装限流器,我们需要知道:

  • 使用的工艺气体
  • 流量:sccm
  • 入口压力:psig
  • 出口压力(如果不是大气压)

Mott GSMR限流器已针对以下气体校准:氩气,氮气,氢气,氧气,氦气和空气。 使用粘度曲线校准所有其他气体。

相关服务

工程支持– 利用我们的专业项目工程师来咨询您的过程,并设计正确的过滤器元件,以最大程度地捕获流量和颗粒。