Mott精密高纯度限流器在Wafer Fab气体排气系统上节省了数百万美元

与莫特 精密高纯度限流器 您可以在几分钟（而不是几小时）内减少灾难性气体泄漏的流量，满足 SEMI S2 和 SEMI S6 准则，并减少通风要求，从而节省数百万美元的通风系统建设费用。此外，莫特精密限流器不会产生湍流气流，从而降低质量流量控制器、压力开关和传感器等关键气体控制组件的性能。事实上，莫特多孔金属限流器可将气体调节为层流，从而提高这些敏感仪器的性能。

成本和基础设施优势

在气体遏制系统（即阀歧管箱，工具隔离箱和气柜）内安装精密限流器以限制发生灾难性事件时的气流将降低这些排气遏制系统中所需的空气替代流量。 所需的较低排气流量意味着较小的排气管道尺寸。 使用较小的通风管道尺寸，您只需安装经济高效的Mott精密限流器，即可从子工厂到空气处理和减排系统的所有连接中节省大量成本。

在数分钟而不是数小时内发泄灾难性泄漏

Mott精密限流器可通过限制灾难性事件中的气体流量来帮助在晶圆厂中创建更安全的环境。 如上表所示，安装了Mott限流器后，以2,000 PSI排空泄漏的时间约为3分钟，而没有限流器的系统则为1,000分钟。

根据经验，Mott精密限流器的尺寸应为质量流量控制器最大流量或所需工艺流量的125％。 它们可以安装在气体隔离盒，VMB或气瓶柜中。 限制进入包装箱的气体流量将限制发生灾难性气体泄漏的最大流量。

如果尺寸正确，则可以将Mott精密限流器安装到气体系统中，而不会影响下游仪表。 实际上，Mott精密限流器将气体调节为层流，从而改善了基于热和压力的质量流量控制器的性能。

精密限流器也可用于软通气。 从真空到大气回填室，更换针形阀，校准孔和质量流量控制器。

符合行业标准 – 满足 SEMI S2 和 SEMI S6 指南

SEMI S6 EHS半导体制造设备排气通风指南¹ 陈述：

7.2.3.3.2注24：工程控制装置，例如过流阀，流量开关和限流器，可用于限制可用流量，从而减少所需的排气通风。

7.6.2由于排气通风流量的要求主要取决于潜在的释放量，因此设备供应商应考虑限制相关物质的可用流量，例如使用限流器或流量过大的阀，以减少所需的排气通风流量。 。

SEMI S2制造设备的环境，健康和安全指南² 陈述：

22.2应按照§23.5和SEMI S6的规定设计设备排气通风并进行通风评估，以有效，安全地控制员工在正常操作，维护或其他故障下可能遭受的最恶劣的现实情况设备组件（硬件或软件）。 所有设计标准和测试方案均应基于公认的方法。

¹SEMI S2-1016b版本2017-半导体制造设备的环境，健康和安全指南

²SEMI S6-0707 Edition 2007 –半导体制造设备排气通风的EHS指南

多孔金属限流器的优点

莫特的高纯流量限制器使用独特的多孔金属介质，专门为半导体制造而开发，并提供紧凑，持久的流量控制，并具有：

根据您的规格设计

您可以为Mott提供所需的尺寸，流速，环境中使用的气体，并且我们可以根据您的需求设计Mott限流器。 下游流量范围从100 SLPM到<1×10^-6 SCCM。 Mott限流器可承受450°C（惰性气体）的持续温度和120 psig（标准）的压力； 根据要求可达到1500 psig。

 

高性价比的设计

Mott的简单限流器设计由标准配件内的多孔金属元件组成，以最低的成本提供最大的强度和可靠性。

全金属结构

多孔金属元件由100％不锈钢制成，并永久固定在1/4“面密封配件中。 其他合金和配置也是可用的。 没有可以弯曲或脱落颗粒的弹性体或其他非金属材料。

固定的防篡改性能

每个Mott限流器都会在产品的使用寿命内提供指定的下游流量。 没有活动部件或潜在的操作员调整可能会影响性能。

 

 

无阻塞性能，层流

多孔金属元素跨越内部通道的整个宽度，使气体可以通过数百个微通道移动，而不会增加流速或产生不规则的流动路径。 下游流量平稳且恒定，并且在接触零星颗粒时，介质不会因摩擦而磨损或阻塞

 

Mott 流量限制器提供先进的安全性并节省成本

您准备好提高半导体运营的效率和安全性了吗？ 立即联系莫特公司 了解有关我们的精密限流器以及如何定制它们以满足您的特定要求的更多信息。 

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