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使用 Mott 的 Penta® 镍过滤器增强半导体晶圆厂的安全性

使用 Mott 的 Penta® 镍多孔金属过滤器增强半导体晶圆厂的安全性

在高风险的半导体晶圆制造(晶圆厂)环境中,确保大宗氧气系统的安全性和效率至关重要。维护这种安全性的一个关键方面是使用高质量的过滤元件来防止灾难性故障。Mott Corporation 的 Penta® 镍多孔金属过滤器 为这一挑战提供有效的解决方案,提供针对绝热压缩点火危险的卓越保护。

了解半导体晶圆厂

半导体晶圆厂或晶圆制造厂是将硅晶圆转化为集成电路 (IC) 的专业加工厂。这些设施对于生产为从智能手机到医疗设备等各种设备供电的微芯片至关重要。晶圆厂所需的精度和清洁度是无与伦比的,因为即使是最小的污染物也会损害整批晶圆的功能。

绝热压燃的危险

什么是绝热压缩点火?

绝热压缩,通常称为“气锤”效应或金属火灾,在高压氧气系统中,当阀门快速打开时就会发生。氧气快速流入高压管道会导致管道末端靠近下一个阀门或调节器的绝热​​压缩。这会导致压力和温度暂时飙升,而无需任何外部热量输入。升高的温度可能会点燃原本不易燃的材料,从而导致灾难性的故障。

现实世界的影响

当使用无法承受高点火能量的材料(如特氟龙)时,高压氧气系统特别容易受到绝热压缩点火的影响。结果可能是毁灭性的,正如许多事故中看到的,材料选择不当导致爆炸和火灾。

压缩气体协会根据加拿大燃气管理局(CGA)关于氧气管道和管路系统的指导方针,过滤元件因其颗粒保留功能和高表面积体积比而成为关注的关键点。这使得这些元件的材料选择对于防止点火至关重要。

Mott 的解决方案:Penta® 镍多孔金属过滤器

为什么是镍?

与塑料、特氟隆或 316 不锈钢相比,镍具有较高的燃点,因此是高压氧气系统中使用的一种优质材料。此外,镍的高表面积可充当散热器,熄灭任何潜在火焰并防止点火。

Penta® 镍过滤器的主要优点

  • 疏水特性:镍的疏水特性使其干燥时间显著缩短,只需几分钟(而不是几小时)即可达到十亿分之十 (ppb) 的 H10O。
  • 卓越的过滤性能:Mott 的 Penta® 镍过滤器提供 1.5 nm 的过滤性能,而行业标准为 3 nm,可确保卓越的污染物去除效果。
  • 成本效益:虽然在较高流速下成本与特氟龙相当,但镍过滤器提供完整性更高、使用寿命更长的材料,从而降低了总体拥有成本。
  • 经过验证的可靠性:Penta® Nickel 介质已在晶圆厂中经过 15 年多的验证,证明了其在关键应用中的可靠性和有效性。

避免常见的陷阱

在特氟龙过滤器前使用镍网是一种不充分的解决方案,并且可能存在危险。镍网无助于降低绝热压力积聚引起的高温,并且仍然可能导致点火。Mott 的 Penta® 镍过滤器提供了全面的解决方案,可满足过滤和温度控制需求。

Mott 的优势:GASSHIELD® 使用点 Penta® 镍散装过滤器

Mott's GasShield® 使用点 Penta® 镍散装过滤器 旨在提高半导体晶圆厂大宗氧气系统的安全性和性能。这些过滤器具有以下特点:

  • 快速干燥:在几分钟内(而不是几小时内)达到 10 ppb 的 H2O。
  • 高效过滤:1.5 nm 过滤,可有效去除污染物。
  • 经过验证的性能:晶圆厂超过 15 年的可靠性。
  • 多种流速:流速范围从 1500 SLPM 至 60,000 SLPM。
  • 经济高效:在更高流速下,成本与特氟龙相当,提供更耐用、更持久的解决方案。

确保晶圆厂的安全性和效率

在半导体晶圆厂的苛刻环境中,过滤材料和技术的选择会显著影响安全性和运营效率。Mott 的 Penta® 镍多孔金属过滤器为高压氧气系统带来的挑战提供了强大、可靠且经济高效的解决方案。

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有关 Mott 高纯度过滤器如何提高半导体晶圆厂的安全性和效率的更多信息, 立即联系我们的高纯度销售团队通过利用 Mott 的专业知识和先进的过滤解决方案,您可以确保晶圆厂的安全性和效率,跟上快速发展的半导体行业的步伐。