半导体工具中的先进热管理：改善废热回收和镜面变形
By 卡尔提克·维斯瓦纳坦，副总裁兼总经理， 莫特公司
数据中心和人工智能需求的增加推动了令人难以置信的新型半导体工具创新。这些新型半导体工具需要巨大的能源来实现先进的处理节点，而目前这些能源中的大部分都没有得到有效的管理。半导体工具中无效的热管理有三个关键影响，而 Mott 的先进解决方案旨在解决这些影响。
光刻镜面变形
吸收的光会导致光刻镜发生热变化和结构变化，从而导致变形。这会影响图像质量和对准精度，造成严重的产量损失，这对半导体工厂来说是一个代价高昂的问题。
增加能源使用量
新工具的耗电量持续上升。未来晶圆厂的耗电量将超过许多国家每年的耗电量！半导体晶圆厂业主面临着不断增长的能源成本，他们努力优化生产，同时保持能源密集型行业的竞争力。
对环境造成的影响
随着设备功耗的增加，运行这些设备所消耗的大部分能源都流失到了环境中，而没有被回收用于为其他工艺应用供电。这对我们的环境产生了很大的影响，因为目前没有一种可再生能源可以为先进的 FAB 供电。
Mott 的先进热管理解决方案
为了应对这些挑战，Mott 通过严格的测试和与行业领导者的合作，率先开发了尖端的热管理技术。这些先进的解决方案包括：
- 双相冷却添加剂组件：提供精确的温度控制，从源头管理热量。
- 高表面对流烟囱设计：增强关键部件的散热能力。
- 选择性孔隙传热设计：将多密度多孔金属结构和微冷却通道板嵌入工具架构中，实现有效的能量回收。
这些创新解决方案不仅可以防止镜子变形，还可以将废热重新用于其他应用，从而降低能源成本和碳足迹。
立即采取行动
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