超高纯气体输送系统
Mott 的高纯度气体过滤器是半导体工厂气体输送系统的理想选择。这些气体过滤器可过滤小至 9 µm 的颗粒，确保气体无颗粒，并在几分钟内（而不是几小时内）快速干燥。Mott 的散装和使用点气体过滤器有不锈钢、哈氏合金和 Penta® 镍材质可供选择，确保与几乎所有高纯度半导体工艺气体兼容。
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典型应用：
- 煤气柜
- 气门箱
- 工具隔离盒
- 车载气体输送箱
- 原子层沉积 (ALD)
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探索 Mott 专为半导体制造商设计的各种高纯度过滤器、扩散器和限流器。
Mott GasShield纤维散装气体过滤器12P23型号
流量高达15,000 m3 / Hr（250,000 slpm）的过程惰性气体的超高纯过滤
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什么是超高纯气体输送系统
超高纯度 (UHP) 气体输送系统是一种专门设计用于向特定应用（例如半导体制造）输送和供应最高纯度气体的装置。这些系统利用 Mott 在高纯度气体输送方面的专业知识，结合先进的过滤和净化机制，确保有效去除气流中的污染物和杂质。主要目标是提供符合严格纯度标准的气体，确保关键应用中的最佳性能和产品质量。该系统的组件（包括 Mott 最先进的过滤器和输送管线）通常由可防止污染并始终保持气体纯度的材料制成。
常见问题解答：超高纯气体输送系统
问：什么是超高纯气体输送系统？
答：超高纯度 (UHP) 气体输送系统是一种专门的装置，旨在为特定应用（例如半导体制造）输送和供应最高纯度的气体。 它通过有效去除污染物和杂质来确保气体满足严格的纯度标准。
问：为什么超高纯气体输送系统对工业至关重要？
答：超高压气体输送系统对于半导体制造、制药和航空航天等行业至关重要，这些行业中最轻微的杂质都会影响产品质量、产量和安全性。 这些系统可确保关键应用中的最佳性能和产品质量。
问：超高纯气体输送系统如何工作？
答：该系统采用先进的过滤和净化机制，以去除气流中的污染物和杂质。 包括过滤器和输送管线在内的组件均由防止污染的材料制成，确保气体保持在所需的纯度水平。
问：超高纯气体输送系统通常包含哪些组件？
答：该系统通常包括过滤器、净化器、调节器、阀门和输送管线等组件。 这些组件通常由抗污染的材料制成，确保所输送气体的纯度一致。
问：超高纯气体输送系统多久需要维护一次？
答：维护频率取决于系统的使用情况、处理的气体类型以及源气体中的污染物水平。 定期检查和及时维护对于确保系统的使用寿命和一致的气体纯度至关重要。
问：超高纯气体输送系统可以处理腐蚀性或易燃气体吗？
答：是的，许多 UHP 气体输送系统设计用于安全处理各种气体，包括易燃、腐蚀性和惰性气体。 必须选择专门针对所使用的气体类型设计的系统，以确保安全性和性能。
