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高純度ガス金属適合表
適切な金属媒体（316Lステンレス鋼、ニッケル、合金22（別名ハステロイ®C-22）およびガス適合性）のガイドライン。[…]との協議
モット半導体カタログ
半導体産業向けモットフィルターおよびフロー制御製品：高純度フィルター、ディフューザー、およびフローリストリクター
高純度ガスフローリストリクター
部品番号：5140シリーズ校正済みガスフローリストリクター、316Lステンレス鋼、ハステロイ®またはニッケルメディア、1/4インチまたは1/2インチフェイスシール[…]
BGF12P23GasShieldファイバーバルクガスフィルターモデル
部品番号：6825182、6825183、6825185、6825320、6825328、6825329Lステンレス鋼ファイバーフィルターメディアおよび316Lステンレス鋼ハウジングバルク[…]
BGF12P23GasShieldファイバーバルクガスフィルター
部品番号: 6825182 & 6825335 316L ステンレス スチール ファイバー フィルター メディアおよび 316L ステンレス スチール ハウジング バルク ガス フィルター […]
BGF310GasShield®Penta®バルクガスフィルター
部品番号：6825121、6825120、6825116Penta®ニッケルフィルターメディアおよび316Lステンレス鋼流量範囲用のハウジングバルクガスフィルター[…]
BGF315GasShield®Penta®バルクガスフィルター
部品番号：6825122、6825123Penta®ニッケルフィルターメディアおよび316Lステンレス鋼最大流量範囲用のハウジングバルクガスフィルター[…]
BGF-315H-40A5S-N-15MGasShield®Penta®バルクガスフィルター
部品番号：6825156Penta®ニッケルフィルターメディアおよび316Lステンレス鋼最大流量範囲用のハウジングバルクガスフィルター[…]
BGF610GasShield®Penta®バルクガスフィルター
部品番号：6825311、6825312、6825313、6825314Penta®ニッケルフィルターメディアおよび316Lステンレス鋼フロー用ハウジングバルクガスフィルター[…]
BGF-610H-4TS-N-30MGasShield®Penta®バルクガスフィルター
部品番号：6825157Penta®ニッケルフィルターメディアおよび316Lステンレス鋼最大流量範囲用のハウジングバルクガスフィルター[…]
BGF615GasShield®Penta®バルクガスフィルター
部品番号：6825088、6825124、6825125Penta®ニッケルフィルターメディアおよび316Lステンレス鋼流量範囲用のハウジングバルクガスフィルター[…]
BGF615HGasShield®Penta®バルクガスフィルター
部品番号：6825146、6825147、6825148Penta®ニッケルフィルターメディアおよび316Lステンレス鋼流量範囲用のハウジングバルクガスフィルター[…]
BGF615HFGasShield®Penta®バルクガスフィルター
部品番号：6825149、6825150、6825151Penta®ニッケルフィルターメディアおよび316Lステンレス鋼流量範囲用のハウジングバルクガスフィルター[…]
モットバルクガスフィルターの考慮事項
設置および操作に関するモットバルクガスフィルターの考慮事項
ESC用セラミックフローコンポーネント
静電チャックの寿命の延長とウェーハ全体の温度均一性の向上により、プロセスツールの生産性が向上します。
GasShield®Defenderガスフィルター
部品番号：6700001、6700010、6700007Lステンレス鋼ファイバーフィルターメディアおよび316Lステンレス鋼ハウジング使用場所フィルター[…]
DEF315HGasShield®Defender高流量ガスフィルター
部品番号：6712201Lステンレス鋼ファイバーフィルターメディアおよび316Lステンレス鋼ハウジングフロー用フィルター[…]
DEF331GasShield®ディフェンダーガスフィルター
部品番号: 6700001、6700003 316L ステンレス スチール ファイバー フィルター メディアおよび 316L ステンレス スチール ハウジング ポイント オブ ユース フィルター […]
