GasShield®チャンバーディフューザー
Mott Gasshield ガス ディフューザーは、均一で層流のガス流を供給し、粒子の乱れを最小限に抑えます。 彼ら 0.0015 μm を超える粒子を効果的に除去してウェーハの品質を向上させ、6,000,000 サイクル以上の寿命を実現するため、半導体製造にとって信頼できる選択肢となります。
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資料とデータシート
代表的なアプリケーション
チャンバーディフューザーは、次の用途でのベントに使用されます。
»ロードロックチャンバー
»トランスファーチャンバー
»冷却チャンバー、および
»プロセスチャンバー
of 半導体機器インターフェース（CVD、PVD、Etch、Epi） または他の真空チャンバー
Mott Semiconductor製品カタログ
半導体メーカー専用に設計されたモッツの幅広い高純度フィルター、ディフューザー、フローリストリクターをご覧ください。
HPディフューザーインストールガイド
Mott高純度GasShield®ディフューザー製品の取り扱いと取り付けに関する説明
製品の仕様
| 操作条件 |
»最高使用圧力：60 psig（4.2 barg） »不活性ガスの最高使用温度 860°C（460°F）、Oリングなし 212°F（100°C）、Oリング付き »最大差圧：75 psid（5.0バール） |
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| インストール情報 |
HPディフューザーインストールガイドを参照してください https://mottcorp.com/resource/gasshield-diffuser-handling-installation-instructions/ 注：VCR®フィッティングの場合は、常に手でナットを締めてから、レンチ（VCR互換レンチ）で手締めを1/8回転して、適切にフィットするようにします。 |
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| 材料 |
»ハードウェア：316LSSまたはAlloy22 * »フィルター媒体：316LSSファイバーまたはアロイ22* » 接液ハードウェアの表面仕上げ: 10 Ra *合金22またはUNSNO6022は、一般にハステロイ®C-22®と呼ばれるニッケル-クロム-モリブデン超合金です。 |
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| Specifications |
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| フローデータ |
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| 接続と寸法 |
*カスタム設計と継手が利用可能です。 |
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利用可能なフローカーブ。 詳細については、スペックシートと工場を参照してください。
私たちのデザイン能力
- ほぼすべてのシステム設計に対する流量/圧力降下曲線とろ過効率
- ガスの互換性に関する考慮事項
- カスタムフィルターメディア、ガスディフューザー、圧力容器、フィッティングの材質と構成が利用可能
関連サービス
ガスディフューザー設計の専門知識 – 最初から最後まで、当社はお客様の設計パラメータに基づいたカスタム ガス ディフューザー ソリューションを専門としています。ぜひ挑戦してください。
流体モデリング – 当社の広範なアプリケーションは、ガスディフューザーの流れモデルの精度を高めるためのデータライブラリを構築し、プロトタイプを構築する前に初期パフォーマンスと実現可能性の見積もりを提供します。
広範なパートナーネットワーク – 材料がリストに掲載されていない場合、または社内にない能力がある場合、当社は新しい材料の調達、高度な製造能力、ガスディフューザーの検証テストのための広範なパートナーネットワークを維持しています。
エンジニアリングサポート – 当社の専門エンジニアを活用して、お客様のアプリケーションに最適なガスディフューザーソリューションを設計します。
ガスディフューザーについて
ガスディフューザーは、周囲環境の粒子や不純物を乱すことなく均一かつ制御されたガス分布を確保するために、さまざまな産業で使用される必須のコンポーネントです。 これらは半導体製造などの用途で重要な役割を果たしており、高品質の製造プロセスではクリーンで粒子のない雰囲気を維持することが重要です。 ガスディフューザーは、入ってくるガスから 0.0015 μm を超える粒子を除去することで、ウェーハ上の欠陥を最小限に抑えるのに役立ちます。
Mott は、カスタム設計とエンジニアリングにおける専門知識により、ガスディフューザーの大手プロバイダーとして傑出しています。 同社のガスディフューザーは特定の設計パラメータに合わせて調整されており、最適なパフォーマンスと信頼性を保証します。 モットの豊富な経験、流体モデリング能力、広範なパートナー ネットワークを通じた先端材料へのアクセスは、最も厳しい業界要件を満たすガス ディフューザーを提供する能力に貢献しており、重要なガス分配アプリケーションに好まれる選択肢となっています。
FAQ: ガスディフューザー
Q: ガスディフューザーとは何ですか?また、どのように機能しますか?
A: ガスディフューザーは、周囲環境の粒子や汚染物質を乱すことなく、制御された方法でガスを均一に分配するために使用される装置です。 特別に設計されたチャネルまたは構造を通して入ってくるガスを拡散することで機能し、ガス流から指定されたサイズより大きい粒子を除去しながら均一な分布を確保します。
Q: 半導体製造においてガスディフューザーが重要なのはなぜですか?
A: ガスディフューザーは、クリーンで粒子のない環境を維持することで、半導体製造において重要な役割を果たします。 入ってくるガスから 0.0015 μm を超える粒子を除去することでウェーハ上の欠陥を最小限に抑え、高品質の生産プロセスを保証し、歩留まりの損失を最小限に抑えます。
Q: Mott のガスディフューザーは、市場にある他のものと何が違うのですか?
A: モットのガスディフューザーは、カスタム設計能力、精密エンジニアリング、および豊富な業界経験により傑出しています。 特定の設計パラメータに基づいてカスタマイズされたソリューションを提供し、最適なパフォーマンスと信頼性を保証します。 流体モデリングにおけるモットの専門知識、広範なパートナー ネットワークを通じた先端材料へのアクセス、および厳しい業界要件を満たす取り組みにより、モットは重要なガス分配アプリケーションにとって信頼できる選択肢となっています。
Q: Mott はさまざまな用途や業界向けにガスディフューザーを提供できますか?
A: はい、Mott は幅広い用途や業界に合わせてカスタマイズできるガス ディフューザーを提供しています。 半導体製造、航空宇宙、またはその他の特殊用途でガスディフューザーが必要な場合でも、モットのエンジニアリングサポートと設計専門知識により、お客様固有の要件に合わせたソリューションを提供できます。
