Téléchargements de ressources techniques

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Filtres au point d'utilisation GasShield® POU-10-S

Numéro de pièce : 6800003, 6800007, 6800011, 6800073 Support de filtre en acier inoxydable et boîtier de filtre au point d'utilisation pour les plages de débit de 60 à 150 […]

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Filtres au point d'utilisation GasShield® POU-3-H

Numéro de pièce : 6800002, 6800148 Boîtier et média filtrant en alliage 22 pour les plages de débit de 30 à 60 SLPM, OAL […]

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Filtres au point d'utilisation GasShield® POU-3-HS

Numéro de pièce : 6800045, 6800180 Boîtier en acier inoxydable et média filtrant en alliage 22 Filtre au point d'utilisation pour les plages de débit 30-60 […]

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Filtres au point d'utilisation GasShield® POU-3-NS

Numéro de pièce : 6800067 Filtre à média en nickel et boîtier en acier inoxydable 316L pour les plages de débit de 30 à 60 SLPM, […]

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Filtres au point d'utilisation GasShield® POU-3-S

Numéro de pièce : 6800001, 6800079 Support de filtre en acier inoxydable et boîtier de filtre au point d'utilisation pour les plages de débit 30-60 SLPM, OAL […]

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Filtres au point d'utilisation GasShield® POU-30-S

Numéro de pièce : 6800074, 6800140 Support de filtre en acier inoxydable et boîtier de filtre au point d'utilisation pour les plages de débit 200-300 SLPM, OAL […]

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Filtres à gaz POU Sentry Series Penta® Nickel

Référence : 6815001, 6815004, 6805005 Support de filtration en nickel Penta® et matériel en acier inoxydable 316L

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Un filtre en métal fritté à faible perte de charge pour les systèmes à gaz ultra-purs

Livre blanc sur le filtre entièrement métallique avec des performances améliorées par rapport aux autres filtres à gaz POU utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs.

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Filtres à particules pour cavalier de purge de gaz de soudage

Normes SEMI pour les filtres à particules de soudage et de purge des gaz de soudage. L'utilisation d'un filtre en fibre métallique offre la solution la plus rapide et la plus efficace […]

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Filtres à gaz au point d'utilisation GasShield® POU-05-H

Numéro de pièce : 6800040 Support de filtre et boîtier en alliage 22, filtre au point d'utilisation pour des plages de débit jusqu'à 10 […]

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Filtre à gaz en vrac BGF315H GasShield® Penta®

Numéro de pièce : 6825164 Média filtrant en nickel Penta® et boîtier en acier inoxydable 316L Filtre à gaz en vrac pour plages de débit jusqu'à […]

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Filtres à gaz à haut débit DEF315H GasShield® Defender

Numéro de pièce : 6712201, 6712211 Média filtrant en fibre d'acier inoxydable 316L et boîtier en acier inoxydable 316L pour filtre au point d'utilisation […]

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Filtres à gaz à haut débit DEF4000 GasShield® Defender

Numéro de pièce : 6712501 Média filtrant en fibre d'acier inoxydable 316L et boîtier en acier inoxydable 316L filtre au point d'utilisation pour le débit […]

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Activation de la filtration des gaz UHP pour les matériaux avancés dans la fabrication de semi-conducteurs

Livre blanc technique sur la filtration ultra-compacte pour les précurseurs corrosifs et les exigences UHP dans les procédés ALD et CVD

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Installation et remplacement du filtre à joint GasShield

Instructions d'installation et de remplacement du filtre à joint GasShield®

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Instructions de manipulation et d'installation du diffuseur GasShield®

Instructions de manipulation et d'installation des produits diffuseurs GasShield® haute pureté Mott

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Filtres de ligne utilitaires GSP1500 GasShield® Penta®

Numéro de pièce : 6825075, 6825080, 6825081 Média filtrant en nickel Penta® et boîtier en acier inoxydable 316L, filtre au point d'utilisation pour le débit […]

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Filtres au point d'utilisation GasShield® POU-015-S

Numéro de pièce : 6800049, 6800029, 6800121 Support de filtre en acier inoxydable et boîtier de filtre au point d'utilisation pour les plages de débit de 10 à 30 SLPM, […]

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