Diffuseurs à chambre GasShield®
Les diffuseurs de gaz Mott Gasshield fournissent des flux de gaz uniformes et laminaires, minimisant les perturbations des particules. Ils éliminent efficacement les particules supérieures à 0.0015 μm, améliorant ainsi la qualité des plaquettes et offrant une longévité de plus de 6,000,000 XNUMX XNUMX de cycles, ce qui en fait un choix fiable pour la fabrication de semi-conducteurs.
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Documentation et fiches techniques
Applications typiques
Les diffuseurs à chambre sont utilisés pour la ventilation dans les applications suivantes:
»Chambres de verrouillage de charge
»Chambres de transfert
»Chambres de refroidissement, et
»Chambres de process
of interfaces d'équipements semi-conducteurs (CVD, PVD, Etch, Epi) ou autres chambres à vide
Catalogue de produits Mott Semiconductor
Explorez la large gamme de filtres, diffuseurs et limiteurs de débit de haute pureté Mott conçus exclusivement pour les fabricants de semi-conducteurs.
Guide d'installation du diffuseur HP
Instructions pour la manipulation et l'installation des produits diffuseurs Mott GasShield® de haute pureté
Spécifications du produit
| Conditions d'utilisation |
»Pression de fonctionnement maximale: 60 psig (4.2 barg) »Température de fonctionnement maximale pour le gaz inerte 860 ° F (460 ° C) sans joint torique 212 ° F (100 ° C) avec joint torique »Pression différentielle maximale: 75 psid (5.0 bar) |
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| Informations d'installation |
Voir le guide d'installation du diffuseur HP https://mottcorp.com/resource/gasshield-diffuser-handling-installation-instructions/ Remarque: Pour les raccords VCR®, serrez toujours l'écrou à la main, puis 1/8 de tour après le serrage à la main à l'aide d'une clé (clé compatible VCR) pour assurer un ajustement correct. |
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| Matériaux |
» Quincaillerie : acier inoxydable 316L ou alliage 22* » Média filtrant : fibre 316L SS ou alliage 22* » Finition de surface du matériel mouillé : 10 Ra *L'alliage 22 ou UNS NO6022 est un superalliage nickel-chrome-molybdène communément appelé Hastelloy® C-22® |
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| Spécifications |
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| Données de flux |
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| Connexions et dimensions |
* Conceptions et accessoires personnalisés disponibles. |
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Courbes de débit disponibles. Consultez les fiches techniques et l'usine pour plus d'informations.
Vidéos et articles
Nos capacités de conception
- Courbes de débit / chute de pression et efficacité de filtration pour pratiquement n'importe quelle conception de système
- Considérations de compatibilité avec les gaz
- Média filtrant personnalisé, diffuseur de gaz, récipient sous pression et matériel de montage et configurations disponibles
Services pertinents
Expertise en conception de diffuseurs de gaz – Du début à la fin, nous nous spécialisons dans les solutions de diffuseurs de gaz personnalisées en fonction de vos paramètres de conception – mettez-nous au défi !
Modélisation fluide – Nos applications étendues ont construit une bibliothèque de données pour augmenter la précision de nos modèles de flux de diffuseurs de gaz, fournissant des estimations initiales de performances et de faisabilité avant de construire des prototypes.
Réseau de partenaires étendu – Si un matériau n’est pas répertorié ou si une capacité n’est pas interne, nous entretenons un vaste réseau de partenaires pour l’approvisionnement en nouveaux matériaux, les capacités de fabrication avancées et les tests de validation des diffuseurs de gaz.
Soutien à l'ingénierie – Faites appel à nos ingénieurs experts pour concevoir les solutions de diffuseur de gaz idéales pour votre application.
À propos des diffuseurs de gaz
Les diffuseurs de gaz sont des composants essentiels utilisés dans diverses industries pour assurer une distribution de gaz uniforme et contrôlée sans particules ou impuretés perturbatrices dans l'environnement. Ils jouent un rôle crucial dans des applications telles que la fabrication de semi-conducteurs, où le maintien d'une atmosphère propre et exempte de particules est essentiel pour des processus de production de haute qualité. Les diffuseurs de gaz aident à minimiser les défauts sur les plaquettes en éliminant les particules supérieures à 0.0015 μm des gaz entrants.
Mott se distingue comme l'un des principaux fournisseurs de diffuseurs de gaz grâce à son expertise en matière de conception et d'ingénierie sur mesure. Leurs diffuseurs de gaz sont adaptés à des paramètres de conception spécifiques, garantissant des performances et une fiabilité optimales. La vaste expérience de Mott, ses capacités de modélisation des fluides et son accès à des matériaux avancés via un vaste réseau de partenaires contribuent à sa capacité à fournir des diffuseurs de gaz qui répondent aux exigences les plus exigeantes de l'industrie, ce qui en fait le choix privilégié pour les applications critiques de distribution de gaz.
FAQ : Diffuseurs de gaz
Q : Qu’est-ce qu’un diffuseur de gaz et comment fonctionne-t-il ?
R : Un diffuseur de gaz est un appareil utilisé pour distribuer les gaz uniformément et de manière contrôlée sans perturber les particules ou les contaminants dans l'environnement. Il fonctionne en diffusant les gaz entrants à travers des canaux ou des structures spécialement conçus, assurant une distribution uniforme tout en éliminant les particules plus grandes qu'une taille spécifiée du flux de gaz.
Q : Pourquoi les diffuseurs de gaz sont-ils importants dans la fabrication de semi-conducteurs ?
R : Les diffuseurs de gaz jouent un rôle crucial dans la fabrication de semi-conducteurs en maintenant un environnement propre et sans particules. Ils contribuent à minimiser les défauts sur les plaquettes en éliminant les particules supérieures à 0.0015 μm des gaz entrants, garantissant ainsi des processus de production de haute qualité et minimisant la perte de rendement.
Q : Qu'est-ce qui distingue les diffuseurs de gaz Mott's des autres sur le marché ?
R : Les diffuseurs de gaz Mott's se distinguent par leurs capacités de conception personnalisée, leur ingénierie de précision et leur vaste expérience dans l'industrie. Ils proposent des solutions sur mesure basées sur des paramètres de conception spécifiques, garantissant des performances et une fiabilité optimales. L'expertise de Mott en matière de modélisation des fluides, l'accès à des matériaux avancés grâce à un vaste réseau de partenaires et son engagement à répondre aux exigences strictes de l'industrie en font un choix de confiance pour les applications critiques de distribution de gaz.
Q : Mott peut-il fournir des diffuseurs de gaz pour diverses applications et industries ?
R : Oui, Mott propose des diffuseurs de gaz qui peuvent être personnalisés pour s'adapter à un large éventail d'applications et d'industries. Que vous ayez besoin de diffuseurs de gaz pour la fabrication de semi-conducteurs, l'aérospatiale ou d'autres applications spécialisées, le support technique et l'expertise en conception de Mott peuvent fournir des solutions adaptées à vos besoins uniques.
