Travailler avec Mott pour obtenir des temps de disponibilité des outils plus longs et un meilleur rendement de l'usine
Améliorer la disponibilité et le rendement des outils est essentiel pour optimiser le rendement de l'usine. Sans une utilisation rigoureuse des outils, une maintenance adéquate et la compatibilité des composants système, ceux-ci peuvent rester inutilisés jusqu'à 60 % du temps. La plupart de ces temps sont dus à des maintenances programmées ou à des arrêts imprévus.
Il a été prouvé que les filtres à gaz Mott en fibre métallique au point d'utilisation aident les usines à améliorer la disponibilité des outils, avec un séchage en quelques minutes (au lieu de plusieurs heures), permettant une mise en service plus rapide des outils au démarrage ou après des arrêts pour maintenance. De plus, le média en fibre métallique offre une capture de particules de 1.5 nm, soit deux fois plus que la norme industrielle de 2 nm. Il a été prouvé que les diffuseurs Mott augmentent le rendement des plaquettes d'outils jusqu'à 3 à 10 % en éliminant les perturbations particulaires dans la chambre lors de la mise à l'air libre du vide à l'atmosphère. Les cycles de mise à l'air libre incessants sont connus pour solliciter les diffuseurs concurrents jusqu'à une défaillance prématurée. Les diffuseurs Mott ont été testés pour résister à 20 millions de cycles de mise à l'air libre, éliminant ainsi les défaillances matérielles coûteuses et réduisant les besoins de maintenance.
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Filtres à gaz en fibre métallique Mott pour point d'utilisation
À utiliser dans les boîtes à gaz pour outils OEM, les bâtons de gaz UHP pour le raccordement d'outils à semi-conducteurs, la filtration de gaz de procédé UHP dans les boîtes de collecteurs de vannes, les armoires à gaz, les boîtes à gaz d'isolation d'outils ou tout processus nécessitant une élimination des particules de très haute pureté.
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Capture de particules de 1.5 nm
Mott a développé conjointement avec le Laboratoire de technologie des particules de l'Université du Minnesota un nouveau test permettant de créer des particules d'essai et de mesurer l'efficacité du filtre jusqu'à 1.5 nm (0.0015 µm). La rétention de particules est ainsi deux fois inférieure à la norme industrielle actuelle de 2 nm. Le développement de techniques de fabrication exclusives par Mott a permis de créer des supports filtrants métalliques offrant cette efficacité sans contribuer à la perte de charge du filtre. |
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Diffuseurs Mott
Utilisez les diffuseurs Mott avec des gaz dans les applications de ventilation sur les chambres de sas de chargement, les chambres de transfert, les chambres de refroidissement et les chambres de traitement ou les interfaces d'équipements semi-conducteurs (CVD, PVD, gravure, Epi) ou d'autres chambres à vide.
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