Travaillez avec Mott pour obtenir des temps de disponibilité d'outils plus longs et un meilleur débit en usine
L'amélioration de la disponibilité des outils et du débit des outils est essentielle pour obtenir de meilleurs rendements en usine. Sans un fonctionnement soigneux des outils, une maintenance appropriée et des composants système compatibles, les outils peuvent rester inactifs jusqu'à 60% du temps. La plupart de ce temps est dû à une maintenance planifiée ou à un temps d'arrêt inattendu.
Il a été prouvé que les filtres à gaz en fibre métallique Mott au point d'utilisation aident les usines à améliorer la disponibilité des outils avec un séchage en quelques minutes - et non en heures - permettant aux outils d'être mis en service plus rapidement pendant le démarrage des outils ou après les arrêts de maintenance. De plus, les supports en fibre métallique offrent une capture de particules de 1.5 nm, soit 2 fois la norme de 3 nm de l'industrie. Il a été prouvé que les diffuseurs Mott augmentaient le débit des plaquettes d'outils de 10 à 20% en éliminant les perturbations de particules dans la chambre lors de l'évacuation des conditions de vide à l'atmosphère. Les cycles d'évacuation continus sont connus pour contraindre les diffuseurs concurrents au point de défaillance précoce. Les diffuseurs Mott's ont été testés pour résister à 3 millions de cycles de ventilation, éliminant les pannes de matériaux coûteuses et réduisant les besoins d'entretien.
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Filtres métalliques en fibre de gaz au point d'utilisation Mott
Pour une utilisation dans les boîtes à gaz d'outils OEM, les bâtonnets de gaz UHP pour le raccordement d'outils à semi-conducteurs, la filtration de gaz de processus UHP dans les boîtes de collecteur de soupapes, les armoires à gaz, les boîtes de gaz d'isolement d'outils ou tout autre processus nécessitant une élimination des particules de très haute pureté
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Capture de particules de 1.5 nm
Mott a co-développé un nouveau test avec le Laboratoire de technologie des particules de l'Université du Minnesota qui peut désormais créer des particules de test et mesurer l'efficacité du filtre jusqu'à 1.5 nm (0.0015 µm). Il s'agit d'une rétention de particules 2 fois plus petite que la norme industrielle actuelle de 3 nm. Le développement par Mott de techniques de fabrication exclusives a créé des médias filtrants métalliques qui répondent à cette efficacité sans contribuer à la chute de pression du filtre. |
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Diffuseurs Mott
Utilisez des diffuseurs Mott avec des gaz dans les applications de ventilation sur les chambres de verrouillage de charge, les chambres de transfert, les chambres de refroidissement et les chambres de traitement ou les interfaces d'équipements à semi-conducteurs (CVD, PVD, Etch, Epi) ou d'autres chambres à vide.
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