Les limiteurs de débit de haute pureté de précision Mott permettent d'économiser des millions de dollars sur les systèmes de ventilation de gaz Fab Wafer
Avec Mott Limiteurs de débit de précision de haute pureté vous pouvez réduire le débit d'une fuite de gaz catastrophique en quelques minutes, et non en heures, respecter les directives SEMI S2 et SEMI S6 et réduire les exigences en matière de ventilation pour économiser des millions sur la construction de votre système de ventilation. De plus, les limiteurs de débit Mott Precision ne provoquent pas de flux de gaz turbulent susceptible de diminuer les performances des composants critiques de contrôle du gaz tels que les contrôleurs de débit massique, les pressostats et les transducteurs. En fait, les limiteurs de débit en métal poreux Mott conditionnent le gaz en un flux laminaire qui améliore les performances de ces instruments sensibles.
Avantages en termes de coûts et d'infrastructure
L'installation de limiteurs de débit de précision à l'intérieur des systèmes de confinement de gaz (c.-à-d. Boîte de collecteur de vanne, boîte d'isolation d'outil et armoire à gaz) pour limiter le débit de gaz en cas d'événement catastrophique réduira le débit de remplacement d'air nécessaire dans ces systèmes de confinement ventilés. Un débit d'air de ventilation plus faible signifie des tailles de tuyauterie de ventilation plus petites. Avec des tailles de tuyauterie de ventilation plus petites, vous pouvez économiser considérablement sur le coût de toutes les connexions, de la sous-usine aux systèmes de traitement et de réduction de l'air, le tout avec l'installation d'un limiteur de débit de précision Mott économique.
Purger les fuites catastrophiques en quelques minutes et non en quelques heures
Les limiteurs de débit de précision Mott contribuent à créer un environnement plus sûr dans votre usine en limitant le débit de gaz en cas d'événement catastrophique. Comme vous pouvez le voir dans le tableau ci-dessus, avec un limiteur de débit Mott installé, le temps nécessaire pour purger une fuite à 2,000 PSI est d'environ 3 minutes, contre 1,000 minutes dans un système sans limiteur de débit.
En règle générale, les limiteurs de débit de précision Mott sont dimensionnés à 125% du débit maximal du régulateur de débit massique ou du débit de processus requis. Ils peuvent être installés dans la boîte d'isolement des gaz, VMB ou dans l'armoire de bouteilles. Limiter le débit de gaz dans la boîte limitera le débit maximal en cas de fuite de gaz catastrophique.
S'il est correctement dimensionné, le limiteur de débit de précision Mott peut être installé dans le système de gaz sans impact négatif sur l'instrumentation en aval. En fait, les limiteurs de débit de précision Mott conditionnent le gaz en un flux laminaire, ce qui améliore les performances des régulateurs de débit massique thermiques et basés sur la pression.
Les limiteurs de débit de précision peuvent également être utilisés dans la ventilation douce; retour des chambres de remplissage du vide à l'atmosphère, remplacement des vannes à pointeau, des orifices calibrés et des contrôleurs de débit massique.
Conformité aux normes de l'industrie – Conforme aux directives SEMI S2 et SEMI S6
La directive EHS SEMI S6 pour la ventilation d'échappement des équipements de fabrication de semi-conducteurs1 États:
7.2.3.3.2 NOTE 24 Les commandes techniques, telles que les soupapes de débit excessif, les interrupteurs de débit et les limiteurs de débit, peuvent être utilisées pour limiter le débit disponible et, par conséquent, réduire la ventilation d'échappement requise.
7.6.2 Étant donné que les exigences de débit de ventilation d'échappement dépendent fortement du rejet potentiel, le fournisseur d'équipement devrait envisager de limiter le débit disponible de substances préoccupantes, comme les limiteurs de débit ou les soupapes de débit excessif, comme moyen de réduire le débit de ventilation d'échappement requis. .
Directive SEMI S2 sur l'environnement, la santé et la sécurité des équipements de fabrication2 États:
22.2 La ventilation par aspiration de l'équipement doit être conçue et une évaluation de la ventilation doit être effectuée conformément au § 23.5 et au SEMI S6, afin de contrôler, efficacement et en toute sécurité, les éventuelles expositions réalistes des employés aux produits chimiques lors du fonctionnement normal, de la maintenance ou de la défaillance d'autres composants d'équipement (matériel ou logiciel). Tous les critères de conception et protocoles d'essai doivent être basés sur des méthodes reconnues.
1SEMI S2-1016b Edition 2017 - Directive sur l'environnement, la santé et la sécurité pour les équipements de fabrication de semi-conducteurs
2SEMI S6-0707 Edition 2007 - Directive EHS pour la ventilation par échappement des équipements de fabrication de semi-conducteurs
Les avantages des limiteurs de débit de métaux poreux
Les restricteurs de débit à haute pureté de Mott utilisent des supports métalliques poreux uniques qui ont été développés spécifiquement pour la fabrication de semi-conducteurs et offrent un contrôle de flux compact et durable associé à:
Concevez selon vos spécifications
Vous fournissez à Mott la taille requise, le débit, les gaz utilisés dans votre environnement et nous concevons le limiteur de débit Mott selon vos besoins. Les débits en aval vont de 100 SLPM à <1 × 10-6 SCCM. Les restricteurs Mott supportent des températures soutenues jusqu'à 450 ° C (gaz inerte) et des pressions jusqu'à 120 psig, standard; jusqu'à 1500 psig sur demande.
Conception économique
La conception simple du restricteur de débit de Mott se compose d'un élément métallique poreux à l'intérieur d'un raccord standard, offrant une résistance et une fiabilité maximales à un coût minimum.
Construction entièrement métallique
Éléments métalliques poreux construits à 100% en acier inoxydable et fixés de façon permanente dans des raccords à joint facial de 1/4 po. D'autres alliages et configurations sont disponibles. Il n'y a pas d'élastomères ou d'autres matériaux non métalliques qui pourraient fléchir ou répandre des particules.
Performances fixes et inviolables
Chaque limiteur de débit Mott fournit le débit aval spécifié pendant la durée de vie du produit. Il n'y a pas de pièces mobiles ou d'ajustements potentiels de l'opérateur qui peuvent nuire aux performances.
Performances sans colmatage, avec flux laminaire
L'élément métallique poreux s'étend sur toute la largeur du canal interne, permettant aux gaz de se déplacer à travers des centaines de microcanaux sans augmenter la vitesse d'écoulement ou créer des trajets d'écoulement irréguliers. Le débit en aval est lisse et constant, et les médias ne s'useront pas par friction, ni ne se boucheront lorsqu'ils sont exposés à des particules sporadiques
Sécurité avancée et économies avec les limiteurs de débit Mott
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