GasShield® Point-of-Use-Filter

Für maximale Gasfiltrationseffizienz, Zuverlässigkeit und branchenführende Durchflusskonsistenz sind GasShield® Point-of-Use-Filter ideal für Anwendungen zur Gaszufuhr mit ultrahoher Reinheit (UHP). Diese Point-of-Use-Filter sind in verschiedenen Materialien erhältlich und mit den meisten hochreinen Prozessgasen in Elektronikqualität kompatibel, wodurch eine optimale Leistung gewährleistet wird.

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Produktspezifikation

Betriebsbedingungen

»Maximaler Betriebsdruck: Bis zu 3750 psig (258 Barg)

»Maximale Betriebstemperatur für Inertgas: 460 ° C.

»Maximaler Differenzdruck: 1000 bar (68.9 psid)

Materialien

» Beschläge: Edelstahl, Edelstahl VAR oder Alloy 22*

» Filtermedium: Edelstahl, Nickel, Legierung 22* oder Edelstahlfaser

» Oberflächenbeschaffenheit der benetzten Beschläge: 5 Ra für Beschläge aus Edelstahl oder Hastelloy®

» Auch benutzerdefinierte Optionen verfügbar

*Alloy 22 oder UNS N06022 ist eine Nickel-Chrom-Molybdän-Superlegierung, die allgemein als Hastelloy® C-22® bezeichnet wird

Spezifikationen
Partikelentfernungsgröße: ≥ 0.0015 μm
Filtereffizienz (Log-Reduktionswert): 9 LRV (99.9999999% Reduktion der Partikel).

Bestätigt bei der durchdringendsten Partikelgröße von 0.08 μm pro SEMI F38-0699-Testmethode

Heliumleck Bewertung: 1 x 10-9 atm cc / sec
Feuchtigkeitsbeitrag: <10 ppb nach 1 Stunde bei Umgebungsspülung mit geringem Durchfluss gemäß SEMI F27-Testmethode
Gesamtkohlenwasserstoffe: Unterhalb der nachweisbaren Grenzen gemäß SEMASPEC 90120396B-Testmethode
Partikelabwurf: Kein Partikelbeitrag über dem Hintergrund (<1 Partikel / ft³) gemäß SEMI F43-0308-Testmethode
Armaturen & Abmessungen
POE-03

Teil Beschreibung Fitting Type A in / mm B in / mm C in / mm
POE-3-SV1

POE-3-HV1

POE-3-HSV1

POE-3-NSV1

¼ Zoll männliche / männliche Gesichtsdichtung 3.31/84.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POE-3-SV3

POE-3-HV3

POE-3-HSV3

½ Zoll männliche / männliche Gesichtsdichtung 3.31/84.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POE-05

Teil Beschreibung Fitting Type A in / mm B in / mm C in / mm
POE-05-SV1

POE-05-HV1

POE-05-NSV1

¼ Zoll männliche / männliche Gesichtsdichtung 3.31/84.0 0.75/19.0 0.812/20.6
POE-05-ST1

POE-05-NST1

¼ Zoll Stumpfschweißrohrstutzen 3.31/84.0 0.75/19.0 N / A
POE-05-FSV1 ¼ Zoll männliche / männliche Gesichtsdichtung 3.31/84.0 0.75/19.0 0.625/15.9
POE-10

Teil Beschreibung Fitting Type A in / mm B in / mm C in / mm
POE-10-SV1

POE-10-HV1

POE-10-HSV1

¼ Zoll männliche / männliche Gesichtsdichtung 5.00/127.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POE-10-SV3

POE-10-HV3

POE-10-HSV3

½ Zoll männliche / männliche Gesichtsdichtung 5.00/127.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POE-10-ST1 ¼ Zoll Stumpfschweißrohrstutzen 5.00/127.0 1.50/38.1 N / A
POE-10-ST3 ½ Zoll Stumpfschweißrohrstutzen 5.00/127.0 1.50/38.1 N / A
POE-30

Teil Beschreibung Fitting Type A in / mm B in / mm C in / mm
POE-30-SV3 ½ Zoll männliche / männliche Gesichtsdichtung 11.22/285.0 1.50/38.1 1.062/26.9
POE-30-ST3 ½ Zoll Stumpfschweißrohrstutzen 11.22/285.0 1.50/38.1 N / A
POE-015

Teil Beschreibung Fitting Type A in / mm B in / mm C in / mm
POE-015-SV1 ¼ Zoll männliche / männliche Gesichtsdichtung 5.00/127.0 0.75/19.0 0.812/20.6
POE-015-ST1 ¼ Zoll Stumpfschweißrohrstutzen 5.00/127.0 0.75/19.0 N / A
POE-015-SV3 ½ Zoll männliche / männliche Gesichtsdichtung 5.00/127.0 0.75/19.0 0.875/22.2

* Sonderanfertigungen und Beschläge erhältlich.

Strömungskurven

Für Filterdurchflusskurven wenden Sie sich an Einzelblätter oder Fabrik.

Unsere Designfähigkeiten

  • Durchfluss- / Druckabfallkurven und Filtrationseffizienz für praktisch jedes Systemdesign
  • Überlegungen zur Gaskompatibilität
  • Kundenspezifische Filtermedien, Druckbehälter und Montagematerial, einschließlich Filterkonfigurationen am Einsatzort, sind verfügbar

Relevante Dienstleistungen

Design-Expertise – Von Anfang bis Ende sind wir darauf spezialisiert individuelle Lösungen Basierend auf Ihren Designparametern – fordern Sie uns heraus, die richtigen Point-of-Use-Filterlösungen für Ihre Anwendung bereitzustellen.

Fluidmodellierung – Unsere umfangreichen Anwendungen haben eine Datenbibliothek aufgebaut, um die Genauigkeit unserer Strömungsmodelle für Point-of-Use-Filter zu erhöhen und vor dem Bau von Prototypen erste Leistungs- und Machbarkeitsschätzungen zu liefern.

Umfangreiches Partnernetzwerk – Wenn ein Material nicht gelistet ist oder die Kapazität nicht in unserem Haus vorhanden ist, unterhalten wir ein umfangreiches Netzwerk von Partnern für die Beschaffung neuer Materialien, erweiterte Fertigungskapazitäten und Validierungstests für Point-of-Use-Filter.

Technische Unterstützung – Verlassen Sie sich darauf, dass unsere erfahrenen Ingenieure die optimalen Point-of-Use-Filterlösungen entwerfen oder auswählen, die auf die spezifischen Anforderungen Ihrer Anwendung zugeschnitten sind.