GasShield® Kammerdiffusoren

Mott Gasshield-Gasdiffusoren liefern gleichmäßige und laminare Gasströme und minimieren so Partikelstörungen. Sie Sie entfernen effektiv Partikel mit einer Größe von mehr als 0.0015 μm, verbessern die Waferqualität und bieten eine Langlebigkeit von über 6,000,000 Zyklen, was sie zu einer zuverlässigen Wahl für die Halbleiterfertigung macht.

Fragen? Anruf 860.747.6333 Heute!

Rufen Sie uns unter 860.747.6333 an oder senden Sie ein Informationsanfrageformular und jemand wird sich innerhalb von 48 Stunden bei Ihnen melden.

Literatur & Datenblätter

Typische Anwendungen

Kammerdiffusoren werden zum Entlüften in folgenden Anwendungen verwendet:

»Ladeschleusenkammern

Ȇbergabekammern

»Kühlkammern und

»Prozesskammern

of Schnittstellen für Halbleitergeräte (CVD, PVD, Etch, Epi) oder andere Vakuumkammern

Mott Semiconductor Produktkatalog

Entdecken Sie Motts breites Sortiment an hochreinen Filtern, Diffusoren und Durchflussbegrenzern, die exklusiv für Halbleiterhersteller entwickelt wurden.

HP Diffuser Installationshandbuch

Anweisungen zur Handhabung und Installation von hochreinen GasShield®-Diffusorprodukten von Mott

Produktspezifikation

Betriebsbedingungen

»Maximaler Betriebsdruck: 60 bar (4.2 psig)

»Maximale Betriebstemperatur für Inertgas

860 ° F (460 ° C) ohne O-Ring

212 ° C (100 ° F) mit O-Ring

»Maximaler Differenzdruck: 75 bar (5.0 psid)

Installationsinformationen

Siehe HP Diffuser Installationshandbuch

https://mottcorp.com/resource/gasshield-diffuser-handling-installation-instructions/

Hinweis: Bei VCR®-Anschlüssen die Mutter immer von Hand festziehen und dann mit einem Schraubenschlüssel (VCR-kompatibler Schraubenschlüssel) 1/8 umdrehen, um einen ordnungsgemäßen Sitz zu gewährleisten.

Materialien

» Hardware: 316L SS oder Alloy 22*

» Filtermedium: 316L SS Fiber oder Alloy 22*

» Oberflächenbeschaffenheit der benetzten Hardware: 10 Ra

*Alloy 22 oder UNS NO6022 ist eine Nickel-Chrom-Molybdän-Superlegierung, die allgemein als Hastelloy® C-22® bezeichnet wird

Spezifikationen
Partikelentfernungsgröße ≥ 0.0015 μm
Partikelabwurf: Kein Partikelbeitrag über dem Hintergrund (<1 Partikel / ft³) gemäß SEMI F43-0308-Testmethode
Auf Lebenszeit: 5 Jahre oder bis zu 3,000,000 Zyklen bei maximalem Betriebsdruck (siehe Garantie)
Flussdaten

Durchflusskurven verfügbar. Weitere Informationen finden Sie in den technischen Datenblättern und im Werk.

 

 

Anschlüsse & Abmessungen
ISO NW50-Ausgangsanschluss

 

Teil Beschreibung Fitting Type Einlassverbindung Ausgangsverbindung O-Ring-Material O-Ring Größe O-Ring-Nut-ID (In / mm) O-Ring Nut Außendurchmesser (In / mm) Tiefe der O-Ring-Nut (In / mm)
GSE-FLG-2.0-F1-NW50-316L

 

GSE-FLG-2.0-F1-NW50-C22

¼ ”Drehgelenk

Gesichtsversiegelung

¼ ”schwenkbarer Videorecorder ISO NW50 Viton 2-229 2.36/59.9 2.67/67.9 0.102/2.6
IS NW40-Ausgangsverbindung

Teil Beschreibung Fitting Type Einlassverbindung Ausgangsverbindung O-Ring-Material O-Ring Größe O-Ring-Nut-ID (In / mm) O-Ring Nut Außendurchmesser (In / mm) Tiefe der O-Ring-Nut (In / mm)
GSE-FLG-1.4-F1-NW40-316L ¼ ”Drehgelenk

Gesichtsversiegelung

¼ ”schwenkbarer Videorecorder IST NW40 Viton 2-224 1.73/44 2.05/52.1 0.102/2.6
IS NW100 (Bolt Through) -Auslassanschluss

Teil Beschreibung Fitting Type Einlassverbindung Ausgangsverbindung O-Ring-Material O-Ring Größe O-Ring-Nut-ID (In / mm) O-Ring Nut Außendurchmesser (In / mm) Tiefe der O-Ring-Nut (In / mm)
GSD-FLG-3.6-F1-NW100-0.5-316L ¼ ”Drehgelenk

Gesichtsversiegelung

¼ ”Videorecorder ISO NW100 Viton 2-246 4.50/114.3 5.12/130.0 0.102/2.6
ISO NW40-Ausgangsanschluss

Teil Beschreibung Fitting Type Einlassverbindung Ausgangsverbindung O-Ring-Material O-Ring Größe O-Ring-Nut-ID (In / mm) O-Ring Nut Außendurchmesser (In / mm) Tiefe der O-Ring-Nut (In / mm)
GSE-FLG-0.6-2.5-F1-NW40 ¼ ”männlich

Gesichtsversiegelung

¼ ”männlicher Videorecorder ISO NW25 Viton 2-224 1.73/44 2.05/52.1 0.102/2.6
ISO NW25-Ausgangsanschluss

Teil Beschreibung Fitting Type Einlassverbindung Ausgangsverbindung O-Ring-Material O-Ring Größe O-Ring-Nut-ID (In / mm) O-Ring Nut Außendurchmesser (In / mm) Tiefe der O-Ring-Nut (In / mm)
GSE-FLG-0.6-2.5-F1-NW25 ¼ ”männlich

Gesichtsversiegelung

¼ ”männlicher Videorecorder ISO NW25 Viton 2-123 1.14/28.9 1.38/35.1 0.075/1.9

* Sonderanfertigungen und Beschläge erhältlich.

Unsere Designfähigkeiten

  • Durchfluss- / Druckabfallkurven und Filtrationseffizienz für praktisch jedes Systemdesign
  • Überlegungen zur Gaskompatibilität
  • Kundenspezifische Filtermedien, Gasdiffusoren, Druckbehälter sowie passende Materialien und Konfigurationen sind verfügbar

Relevante Dienstleistungen

Fachkompetenz im Gasdiffusor-Design – Von Anfang bis Ende sind wir auf maßgeschneiderte Gasdiffusorlösungen spezialisiert, die auf Ihren Designparametern basieren – fordern Sie uns heraus!

Fluidmodellierung – Unsere umfangreichen Anwendungen haben eine Datenbibliothek aufgebaut, um die Genauigkeit unserer Gasdiffusor-Strömungsmodelle zu erhöhen und vor dem Bau von Prototypen erste Leistungs- und Machbarkeitsschätzungen zu liefern.

Umfangreiches Partnernetzwerk – Wenn ein Material nicht aufgeführt ist oder wir keine eigenen Kapazitäten haben, unterhalten wir ein umfangreiches Netzwerk von Partnern für die Beschaffung neuer Materialien, erweiterte Fertigungskapazitäten und Validierungstests von Gasdiffusoren.

Technische Unterstützung – Nutzen Sie unsere erfahrenen Ingenieure, um die idealen Gasdiffusorlösungen für Ihre Anwendung zu entwickeln.

Über Gasdiffusoren

Gasdiffusoren sind wesentliche Komponenten, die in verschiedenen Branchen eingesetzt werden, um eine gleichmäßige und kontrollierte Gasverteilung ohne störende Partikel oder Verunreinigungen in der Umgebung zu gewährleisten. Sie spielen eine entscheidende Rolle in Anwendungen wie der Halbleiterfertigung, wo die Aufrechterhaltung einer sauberen und partikelfreien Atmosphäre für qualitativ hochwertige Produktionsprozesse von entscheidender Bedeutung ist. Gasdiffusoren tragen dazu bei, Defekte auf Wafern zu minimieren, indem sie Partikel größer als 0.0015 μm aus einströmenden Gasen entfernen.

Mott zeichnet sich aufgrund seiner Expertise in kundenspezifischem Design und Engineering als führender Anbieter von Gasdiffusoren aus. Ihre Gasdiffusoren sind auf spezifische Designparameter zugeschnitten und gewährleisten optimale Leistung und Zuverlässigkeit. Motts umfangreiche Erfahrung, Fähigkeiten zur Fluidmodellierung und der Zugriff auf fortschrittliche Materialien über ein umfangreiches Partnernetzwerk tragen dazu bei, dass Mott Gasdiffusoren liefern kann, die den anspruchsvollsten Branchenanforderungen gerecht werden, und macht sie zur bevorzugten Wahl für kritische Gasverteilungsanwendungen.

FAQs: Gasdiffusoren

F: Was ist ein Gasdiffusor und wie funktioniert er?

A: Ein Gasdiffusor ist ein Gerät, das zur gleichmäßigen und kontrollierten Verteilung von Gasen verwendet wird, ohne Partikel oder Verunreinigungen in der Umgebung zu stören. Es funktioniert, indem es einströmende Gase durch speziell entwickelte Kanäle oder Strukturen verteilt und so eine gleichmäßige Verteilung gewährleistet, während gleichzeitig Partikel, die größer als eine bestimmte Größe sind, aus dem Gasstrom entfernt werden.

F: Warum sind Gasdiffusoren in der Halbleiterfertigung wichtig?

A: Gasdiffusoren spielen eine entscheidende Rolle in der Halbleiterfertigung, indem sie für eine saubere und partikelfreie Umgebung sorgen. Sie tragen dazu bei, Defekte auf Wafern zu minimieren, indem sie Partikel mit einer Größe von mehr als 0.0015 μm aus einströmenden Gasen entfernen, wodurch qualitativ hochwertige Produktionsprozesse gewährleistet und Ausbeuteverluste minimiert werden.

F: Was unterscheidet die Gasdiffusoren von Mott von anderen auf dem Markt?

A: Die Gasdiffusoren von Mott zeichnen sich durch kundenspezifische Designmöglichkeiten, Präzisionstechnik und umfassende Branchenerfahrung aus. Sie bieten maßgeschneiderte Lösungen auf der Grundlage spezifischer Designparameter und gewährleisten optimale Leistung und Zuverlässigkeit. Motts Fachwissen in der Fluidmodellierung, der Zugang zu fortschrittlichen Materialien über ein umfangreiches Partnernetzwerk und sein Engagement für die Erfüllung strenger Branchenanforderungen machen das Unternehmen zu einer vertrauenswürdigen Wahl für kritische Gasverteilungsanwendungen.

F: Kann Mott Gasdiffusoren für verschiedene Anwendungen und Branchen anbieten?

A: Ja, Mott bietet Gasdiffusoren an, die individuell an eine Vielzahl von Anwendungen und Branchen angepasst werden können. Ganz gleich, ob Sie Gasdiffusoren für die Halbleiterfertigung, die Luft- und Raumfahrt oder andere Spezialanwendungen benötigen, der technische Support und die Designkompetenz von Mott können Ihnen Lösungen bieten, die auf Ihre individuellen Anforderungen zugeschnitten sind.